特許
J-GLOBAL ID:200903027295416310
セラミック素子の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
伊藤 洋二 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-311723
公開番号(公開出願番号):特開2003-119080
出願日: 2001年10月09日
公開日(公表日): 2003年04月23日
要約:
【要約】【課題】 金属酸化物焼結体を主体とするセラミック素子を製造するにあたって、セラミック原料の組成のさらなる均一化をはかり、セラミック素子の抵抗値のバラツキを低減する。【解決手段】 金属酸化物からなるセラミック原料を焼成することにより形成された焼結体からなるセラミック素子を製造する方法において、金属酸化物の前駆体を液相中に混合して前駆体溶液を調製する工程と、前駆体溶液を噴霧して液滴粒子を得る工程と、液滴粒子を熱処理してセラミック素子の原料粉を得る第1の熱処理工程と、第1の熱処理工程で得られた原料粉を第1の熱処理工程よりも高い温度で熱処理することにより、原料粉の平均粒径を0.1μm以上1.0μm以下とする第2の熱処理工程と、第2の熱処理工程で得られた原料粉を造粒、成形、焼成する工程とを有する。
請求項(抜粋):
金属酸化物からなるセラミック原料を焼成することにより形成された焼結体からなるセラミック素子を製造する方法において、前記セラミック原料として液相法により作製された平均粒径が0.1μm以上1.0μm以下の原料粉を用い、この原料粉を造粒、成形、焼成することにより、前記焼結体について、次の数式1に示す焼成比重と理論比重とで定義される相対比重Xが、【数1】相対比重X=(焼成比重/理論比重)×100(%)90%以上となるようにしたことを特徴とするセラミック素子の製造方法。
IPC (4件):
C04B 35/626
, C04B 35/00
, G01K 7/22
, H01C 7/04
FI (4件):
G01K 7/22 N
, H01C 7/04
, C04B 35/00 A
, C04B 35/00 H
Fターム (20件):
2F056QF01
, 4G030AA08
, 4G030AA11
, 4G030AA12
, 4G030AA22
, 4G030AA25
, 4G030AA37
, 4G030BA02
, 4G030CA01
, 4G030GA04
, 4G030GA05
, 4G030GA08
, 4G030GA11
, 4G030GA14
, 4G030GA22
, 4G030GA25
, 4G030GA27
, 5E034BA09
, 5E034DE07
, 5E034ED04
引用特許:
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