特許
J-GLOBAL ID：200903027355406157
荷電粒子線画像に基づく検査または計測方法およびその装置並びに荷電粒子線装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-165872
公開番号（公開出願番号）：特開2000-357483
出願日： 1999年06月11日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：
【要約】【課題】チャージアップの少ない状態を保ち、像質の安定した電子線画像を得ることが可能な、荷電粒子線を用いた検査、計測方法およびその装置を提供する。【解決手段】紫外光照射系31、30を照射制御手段32によって制御し、荷電粒子線の走査を走査制御手段18によって制御する。照射制御手段32と走査制御手段18の制御は全体制御装置8によって行い、お互いを同期させ、電子検出器14からの信号を画像取り出し部27および画像処理回路28において、画像化し、試料の検査、測長を行う。
請求項（抜粋）：
荷電粒子源から発せられた荷電粒子を荷電粒子光学系で集束し、この集束された荷電粒子ビームを偏向手段によって偏向させて絶縁膜を有する試料上に対して走査照射し、この走査照射された荷電粒子ビームによって試料から発生する荷電粒子を荷電粒子検出器で検出して荷電粒子画像を得、この得られた荷電粒子画像を画像処理手段で画像処理して前記試料の検査または計測を行う検査または計測過程と、前記試料に対して紫外光照射手段により紫外光を照射して絶縁膜中の電子を励起して導通化して帯電した電荷を逃がす導通化過程とを有することを特徴とする荷電粒子線画像に基づく検査または計測方法。
IPC (3件)：
H01J 37/20
, H01J 37/22 502
, H01J 37/24
H01J 37/20 H
, H01J 37/22 502 A
, H01J 37/24
5C001AA08
, 5C001BB07
, 5C001CC04
, 5C001CC05
, 5C001CC08
出願人引用 (7件)
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電子ビーム検査方法とそのシステム
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-124951
出願人：日本ケー・エル・エー株式会社
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特開平1-194256
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特開昭48-095767
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審査官引用 (9件)
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