特許
J-GLOBAL ID：200903027362233586
試料加工装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-336531
公開番号（公開出願番号）：特開2007-115706
出願日： 2006年12月14日
公開日（公表日）： 2007年05月10日
要約：
【課題】 透過電子顕微鏡の観察に適した試料を作製することができる試料加工装置を提供する。【解決手段】 遮蔽材支持手段をなす遮蔽材支持ステージ23aの基台100は、試料Sの加工面SAが上下に通過可能とされた切り欠き部100aを備える。基台100上には、供給ホイール101、一対の支持ホイール102、張力印加ホイール103、及び弾性部材105が設けられている。供給ホイール101から供給された長尺状(ワイヤ状)の遮蔽材Mは、一対の支持ホイール102の間で架橋されて支持され、この部分の遮蔽材Mが試料Sの加工面SAの上方に配置される。試料Sのエッチング加工時には、遮蔽材Mが加工面SAの近傍に介在された状態でイオンビームが照射されて行われる。このとき、張力印加ホイール103を介して弾性部材105により遮蔽材Mに所定の張力が印加される。遮蔽材Mの交換時には、供給ホイール101から自動的にイオンビームが未照射の遮蔽材Mが供給される。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
内部が所定の真空度に真空引きされる試料加工室と、
前記試料加工室に配置され、試料を保持するための試料台と、
前記試料加工室に配置され、前記試料台に保持された試料の加工面にイオンビームを照射するためのイオンビーム照射手段と、
前記イオンビーム照射手段と前記試料の間に配置され、前記試料の加工面の所定領域をイオンビームから遮るためのテープ状の遮蔽材と、
前記遮蔽材を支持するための遮蔽材支持手段
を備えたことを特徴とする試料加工装置。
IPC (4件)：
H01J 37/31
, H01J 37/20
, G01N 1/28
, G01N 1/32
H01J37/31
, H01J37/20 Z
, G01N1/28 G
, G01N1/32 B
, G01N1/28 F
2G052AA13
, 2G052AB26
, 2G052AB27
, 2G052AC28
, 2G052AD12
, 2G052AD32
, 2G052AD52
, 2G052BA02
, 2G052BA15
, 2G052EC14
, 2G052EC18
, 2G052EC23
, 2G052GA34
, 2G052JA15
, 5C001CC01
