近視野光デバイスとその製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-363008
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174393
出願日： 1999年12月21日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【課題】強度の大きな近視野光を照射することができる近視野光デバイス及び、そのような近視野光デバイスを作製する製造方法を得ること。【解決手段】近視野光を照射および/あるいは検出を行う近視野光デバイスが、遮光膜2と、遮光膜2に形成された逆錘状の窪み11と、逆錘状の窪み11の先端にあり大きさが光の波長以下である近視野光照射口1と、遮光膜2を支持する支持体3からなり、遮光膜2の膜厚が10〜5000nmである構成とする。また、近視野光照射口11を形成する工程において、少なくとも1つ以上の錘状の圧子によって遮光膜2に圧痕を形成する工程を含むことを特徴とする近視野光デバイスの製造方法とする。

請求項（抜粋）：

近視野光を照射および/あるいは検出を行う近視野光デバイスにおいて、遮光膜と、前記遮光膜に形成された逆錘状の窪みと、前記逆錘状の窪みの先端にあり、大きさが光の波長以下である近視野光照射口と、前記遮光膜を支持する支持体からなることを特徴とする近視野光デバイス。

IPC (7件)：

G01N 13/14 , G01B 7/34 , G01B 21/30 , G01N 13/10 , G11B 7/12 , G11B 7/135 , G12B 21/06

FI (7件)：

G01N 13/14 B , G01B 7/34 Z , G01B 21/30 Z , G01N 13/10 G , G11B 7/12 , G11B 7/135 Z , G12B 1/00 601 C

引用特許：

審査官引用 (4件)

平面プローブ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-266870 出願人：財団法人神奈川科学技術アカデミー
光検出または照射用プローブの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-120059 出願人：キヤノン株式会社
光ファイバープローブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-313921 出願人：財団法人神奈川科学技術アカデミー

全件表示

前のページに戻る