特許
J-GLOBAL ID：200903016498022382
平面プローブ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-266870
公開番号（公開出願番号）：特開平11-110793
出願日： 1997年09月30日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】【課題】 エバネッセント光を効率良く生じることができ、また機械的強度に優れた平面プローブ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 基板1上に錐状の貫通孔2を形成し、この貫通孔2内にレンズ4を収容することでプローブ5を構成する。そして、貫通孔2の頂点側の開口部3が臨む基板面を含む平面Bと、球レンズ4の焦点Fとの距離をk、球レンズの焦点距離をfとしたときに、|k|≦f/4なる関係を満たすようにする。
請求項（抜粋）：
基板に錐状の貫通孔が形成され、この貫通孔内に球レンズが収容されることで形成されたプローブを有し、貫通孔の頂点側の開口部が臨む基板面を含む平面と、球レンズの焦点との距離をk、球レンズの焦点距離をfとしたときに、|k|≦f/4なる関係を満たすことを特徴とする平面プローブ。
引用特許：
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