金属酸化物系薄膜の製造方法および有機-無機複合傾斜材料の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村静男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-252952
公開番号（公開出願番号）：特開2003-054950
出願日： 2001年08月23日
公開日（公表日）： 2003年02月26日
要約：

【要約】【課題】ゾル-ゲル法により、簡単な手段で効率よく緻密な金属酸化物系薄膜を製造する方法、および表面が緻密な金属酸化物系薄膜からなる有機-無機複合傾斜材料の製造方法を提供する。【解決手段】加水分解性金属含有化合物を加水分解、縮合させて得られたゾルを含む塗工液を成膜し、特定の条件で加湿処理、次いで減圧加熱処理して、金属酸化物系薄膜を製造する方法、並びに加水分解性金属含有基を有する有機高分子化合物と前記ゾルを含む塗工液を用いて、有機基材上に塗膜を形成し、特定の条件で加湿処理、さらに減圧加熱処理して、有機-無機複合傾斜材料を製造する方法である。

請求項（抜粋）：

一般式(I)R<SP>1</SP><SB>n</SB>M<SP>1</SP>R<SP>2</SP><SB>m-n</SB> ...(I)(式中、R<SP>1</SP>は非加水分解性基、R<SP>2</SP>は加水分解性基、M<SP>1</SP>は金属原子、mはM<SP>1</SP>の価数を示し、nは0≦n<m-1の関係を満たす整数であり、R<SP>1</SP>が複数の場合、各R<SP>1</SP>は同一でも異なっていてもよく、R<SP>2</SP>が複数の場合、各R<SP>2</SP>は同一でも異なっていてもよい。)で表される加水分解性金属含有化合物を、該化合物の加水分解性基に対し、0.25〜0.75倍モルの水を用い加水分解、縮合させて得られたゾルを含む塗工液を調製し、基材上に成膜したのち、この膜を温度40〜100°C、絶対湿度0.02kg/kgD.A.以上および相対湿度80%RH以下の条件で加湿処理し、次いで温度40〜200°Cおよび圧力5kPa以下の条件で減圧加熱処理すること、ならびに両処理の合計時間が30分以内であることを特徴とする金属酸化物系薄膜の製造方法。

IPC (8件)：

C01G 23/04 , C01G 1/02 , C08F230/04 , C09D157/06 , C09D185/00 , C09D201/02 , C09D183/02 , C09D183/04

FI (8件)：

C01G 23/04 C , C01G 1/02 , C08F230/04 , C09D157/06 , C09D185/00 , C09D201/02 , C09D183/02 , C09D183/04

Fターム (58件)：

4G047CA02 , 4G047CB06 , 4G047CD02 , 4J038CC021 , 4J038CC081 , 4J038CC091 , 4J038CG141 , 4J038CH031 , 4J038CH041 , 4J038CH071 , 4J038CH081 , 4J038CH171 , 4J038CH231 , 4J038CL001 , 4J038CL011 , 4J038DL021 , 4J038DL051 , 4J038DL071 , 4J038DM021 , 4J038GA03 , 4J038GA07 , 4J038GA12 , 4J038GA15 , 4J038GA16 , 4J100AB00Q , 4J100AB02Q , 4J100AB03Q , 4J100AB07Q , 4J100AB08Q , 4J100AB09Q , 4J100AL03Q , 4J100AL04Q , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL10Q , 4J100AL11Q , 4J100BA03P , 4J100BA03Q , 4J100BA04P , 4J100BA10Q , 4J100BA42P , 4J100BA77P , 4J100BA93P , 4J100BA94P , 4J100BA95P , 4J100BA96P , 4J100BB01P , 4J100BB01Q , 4J100BB03Q , 4J100BC03Q , 4J100BC04Q , 4J100BC43Q , 4J100BC49Q , 4J100BC54Q , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100DA63 , 4J100JA01

引用特許：

審査官引用 (4件)

金属酸化物薄膜の形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-311576 出願人：松下電子工業株式会社
金属酸化物薄膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-291308 出願人：株式会社関西新技術研究所
チタニア塗布液及びその製造方法、並びにチタニア膜及びその形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-076634 出願人：三菱瓦斯化学株式会社

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