特許
J-GLOBAL ID：200903027409847316

感放射線性樹脂組成物、樹脂パターン形成方法、樹脂パターン及びその利用

発明者：
小出村 順司

小出村 順司 について

, 
東 広和

東 広和 について


出願人/特許権者：
日本ゼオン株式会社

日本ゼオン株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-354362
公開番号（公開出願番号）：特開2003-156838
出願日： 2001年11月20日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：
【要約】【課題】 平坦性、耐熱性、低誘電性、耐吸水性、耐薬品性、透明性、耐溶剤性などの諸性能のバランスに優れた電気絶縁膜を与えることが可能であるとともに、基板への塗布性や保存安定性に優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)脂環式オレフィン樹脂、(B)酸発生剤、(C)架橋剤、及び(D)溶剤からなる感放射線性樹脂組成物であって、溶剤として、エチレングリコールモノブチルエーテルやプロピレングリコールものエチルエーテルなどのグリコール系溶剤を含有するものである感放射線性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
(A)脂環式オレフィン樹脂、(B)酸発生剤、(C)架橋剤、及び(D)溶剤からなる感放射線性樹脂組成物であって、(D)溶剤が、少なくとも下式(1)で表されるグリコール系溶剤を含有するものである感放射線性樹脂組成物。【化1】(式(1)中、nは1又は2であり、R1及びR2は、水素原子又はメチル基であり(但し、R1とR2が同時にメチル基になることはない)、Aは、R1とR2が共に水素原子の時に炭素数3〜7の直鎖又は分岐のアルキル基であり、R1又はR2がメチル基の時に炭素数2〜7の直鎖又は分岐のアルキル基である。)
IPC (5件)：
G03F 7/004 501 ,  G03F 7/032 ,  H01L 21/027 ,  H01L 23/29 ,  H01L 23/31
FI (4件)：
G03F 7/004 501 ,  G03F 7/032 ,  H01L 21/30 502 R ,  H01L 23/30 C
Fターム (16件)：
2H025AA11 ,  2H025AA18 ,  2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE01 ,  2H025BE07 ,  2H025CB08 ,  2H025CB41 ,  2H025CC03 ,  2H025CC17 ,  2H025FA17 ,  4M109AA01 ,  4M109CA10
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 感放射線性樹脂組成物
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-115846   出願人：ジェイエスアール株式会社
  • 感光性樹脂組成物
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-373959   出願人：日本ゼオン株式会社
審査官引用 (2件)
  • 感放射線性樹脂組成物
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-115846   出願人：ジェイエスアール株式会社
  • 感光性樹脂組成物
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-373959   出願人：日本ゼオン株式会社

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