特許
J-GLOBAL ID：200903038075215048

感光性樹脂組成物

発明者：
小出村 順司

小出村 順司 について


出願人/特許権者：
日本ゼオン株式会社

日本ゼオン株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-373959
公開番号（公開出願番号）：特開2001-188343
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月10日
要約：
【要約】【課題】 平坦性、耐熱性、透明性、耐薬品性等の諸性能に優れるとともに、低誘電性に優れた微細なパターン状薄膜を容易に形成することができる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 脂環式オレフィン重合体に、アミド基やカルボキシル基のごとき酸誘導体型残基を有する化合物を変性反応させて得られるアルカリ可溶性脂環式オレフィン重合体、アルコキシメチル化メラミンやアルコキシメチル化グリコールウリルのごとき架橋剤、及びハロゲン含有トリアジン化合物のごとき光酸発生剤を含有する感光性樹脂組成物を得る。
請求項（抜粋）：
脂環式オレフィン重合体に、酸性基を有する化合物又は酸誘導体型残基を有する化合物を変性反応させて得られるアルカリ可溶性脂環式オレフィン重合体、式(1)で表される基を有する架橋剤、及び光酸発生剤を含有する感光性樹脂組成物。 -CHnOR1 (1)〔式(1)中、R1は水素原子またはアルキル基である。nは1又は2(なお、nが1のときは2価の官能基になる。)である。〕
IPC (10件)：
G03F 7/038 601 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/06 ,  C08L 45/00 ,  C08L 51/06 ,  C08L 51/08 ,  C08L 65/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/032 ,  H01L 21/027
FI (10件)：
G03F 7/038 601 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/06 ,  C08L 45/00 ,  C08L 51/06 ,  C08L 51/08 ,  C08L 65/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/032 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (46件)：
2H025AA00 ,  2H025AA06 ,  2H025AA07 ,  2H025AA08 ,  2H025AA10 ,  2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BE00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB42 ,  2H025CB52 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J002BK001 ,  4J002BN051 ,  4J002BN171 ,  4J002CE001 ,  4J002EB017 ,  4J002EB107 ,  4J002EC037 ,  4J002EE037 ,  4J002EJ057 ,  4J002EJ067 ,  4J002EN137 ,  4J002EQ037 ,  4J002ET016 ,  4J002EU167 ,  4J002EU186 ,  4J002EU227 ,  4J002EV197 ,  4J002EV217 ,  4J002EV237 ,  4J002EV247 ,  4J002EV297 ,  4J002EV327 ,  4J002EW057 ,  4J002EW177 ,  4J002FD030 ,  4J002FD146 ,  4J002FD310 ,  4J002GP03
引用特許：
審査官引用 (5件)
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