特許

J-GLOBAL ID：200903027410496071

露光装置

発明者： 大場 昌宏
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (4件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-133407
公開番号（公開出願番号）：特開2006-308994
出願日： 2005年04月28日
公開日（公表日）： 2006年11月09日
要約：

【課題】 ビーム位置検出手段に設けられた光検出器の着脱に伴う再調整作業を軽減する。【解決手段】 複数の露光ヘッドから照射された各光ビームの露光面上での露光位置を検出するビーム位置検出手段には、光ビームを透過させるスリットが形成された基準板170と、スリットを透過した光ビームを検出する受光素子172とが設けられ、この受光素子172は、取付板190を介して移動ベース74に取り付けることにより、基準板170とは独立して着脱できるよう構成する。受光素子172の交換や取り外しでは、基準板170を取り付け直して露光機能の再調整をする必要がなくなるため、受光素子172の着脱に伴う再調整作業が軽減される。【選択図】 図22

請求項（抜粋）：

画像情報に応じて変調された光ビームを照射して感光材料を走査露光する複数の露光ヘッドと、 前記複数の露光ヘッドに対して相対移動し、感光材料を走査方向に沿って搬送するステージと、 前記ステージにおける移動方向の一端部に設けられ、前記複数の露光ヘッドから照射された各光ビームの露光面上での露光位置を検出するビーム位置検出手段と、 を備え、 前記ビーム位置検出手段は、 光ビームを透過させるスリット状の透光部が前記複数の露光ヘッドに対応して複数形成された基準板と、 前記透光部を透過した光ビームを検出するとともに前記基準板と独立して着脱可能とされた光検出器と、 を有することを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F7/20 501 ,  G03F9/00 A ,  H01L21/30 529 ,  H01L21/30 516C

Fターム (19件)：

2H097AA03 ,  2H097BA10 ,  2H097BB10 ,  2H097CA17 ,  2H097KA03 ,  2H097KA20 ,  2H097KA29 ,  2H097LA09 ,  2H097LA12 ,  5F046AA06 ,  5F046CA03 ,  5F046CB04 ,  5F046CC01 ,  5F046DA07 ,  5F046DB01 ,  5F046DB04 ,  5F046DC10 ,  5F046FA10 ,  5F046FB16

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 画素位置特定方法、画像ずれ補正方法、および画像形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-164705   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 基準マーク位置測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-147655   出願人：富士写真フイルム株式会社