特許
J-GLOBAL ID:200903084344121480

画素位置特定方法、画像ずれ補正方法、および画像形成装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-164705
公開番号(公開出願番号):特開2005-003762
出願日: 2003年06月10日
公開日(公表日): 2005年01月06日
要約:
【課題】マルチヘッド露光装置において、各露光ヘッドによって形成される画像間のずれを小さくする。【解決手段】第1の露光ヘッドの繋ぎ目付近の第1特定画素をonし、スリットを設けたビーム位置検出手段をY軸方向に沿って移動させ、前記スリットを透過する露光ビームの光量から露光ビームの位置を検出して前記第1特定画素の位置を特定し、第2の露光ヘッドの繋ぎ目付近の第2特定画素をonし、前記ビーム位置検出手段をY軸方向に移動させ、前記スリットを透過する露光ビームの光量から露光ビームの位置を検出して前記第2特定画素の位置を特定する画素位置特定方法、画像ずれ補正方法、画像形成装置。【選択図】 図8
請求項(抜粋):
複数の画素を選択的にon/offする手段を有する複数の露光ヘッドを一定方向に走査して画像を形成する画像形成装置において、各露光ヘッドの露光ビームの位置を測定して前記露光ヘッドの繋ぎ目の画素位置を特定する画素位置特定方法であって、 前記露光装置の走査方向に対して平行なY軸方向に沿って基準面上を移動可能に形成され、前記露光ヘッドの画素配列に対して相対的に斜めであって互いに交差するように配設された少なくとも1対のスリット部と前記スリット部を透過する前記露光ビームの光量を測定する光量測定手段とを有するビーム位置検出手段を用いて前記露光ビームの位置を測定するとともに、 第1の露光ヘッドにおける画像の繋ぎ目付近の第1特定画素をonして前記ビーム位置検出手段をY軸方向に沿って移動させ、前記スリット部の一方および他方を透過する露光ビームの光量がピークに達したときの前記ビーム位置検出手段の位置と前記スリット部の位置と前記スリット部が互いになす角度とに基いて前記第1特定画素の位置を特定する第1画素位置特定ステップと、 第2の露光ヘッドにおける画像の繋ぎ目付近の第2特定画素をonして前記ビーム位置検出手段をY軸方向に沿って移動させ、前記スリット部の一方および他方を透過する露光ビームの光量がピークに達したときの前記ビーム位置検出手段の位置と前記スリット部のなす角度とに基いて前記第2特定画素の位置を特定する第2画素位置特定ステップとを 有することを特徴とする画素位置特定方法。
IPC (2件):
G03F7/20 ,  H01L21/027
FI (2件):
G03F7/20 501 ,  H01L21/30 529
Fターム (6件):
2H097BB03 ,  2H097CA06 ,  2H097LA09 ,  2H097LA12 ,  5F046BA07 ,  5F046CB01
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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