特許
J-GLOBAL ID：200903027413241090

蛍光式光ファイバー温度計

発明者：
川口 雄一

川口 雄一 について


出願人/特許権者：
安立計器株式会社

安立計器株式会社 について


代理人 (1件)： 小川 信一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-221225
公開番号（公開出願番号）：特開2000-055747
出願日： 1998年08月05日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：
【要約】【課題】半導体のシリコンウェーハー等の測温対象物の温度を測定する場合に、測温対象物に悪影響を与えることなく、また、光ファイバーを損傷することなく、耐久性に富み、再現性のよい、その上、測温時に蛍光物質と光ファイバーと間の作動距離を一定にすることができる蛍光式光ファイバー温度計を提供する。【解決手段】温度により蛍光特性が変化する蛍光物質3の蛍光光線L2を測定することにより、測温対象物20の温度を算出する蛍光式光ファイバー温度計1であって、測温時に測温対象物20に当接させるキャップ部2を先端部が閉じた筒状の熱伝導体で形成し、キャップ部2に蛍光物質3を詰めて測温部10を形成すると共に、測温部10の蛍光物質3と光ファイバー6の先端との間に所定の作動距離Dを有して、光ファイバー6を測温部10と分離して設ける。
請求項（抜粋）：
温度により蛍光特性が変化する蛍光物質に光ファイバーを経由して励起光線を当てて、前記光ファイバーを経由して戻ってくる前記蛍光物質の蛍光光線を測定することにより、測温対象物の温度を算出する蛍光式光ファイバー温度計であって、測温時に測温対象物に当接させるキャップ部を先端部が閉じた筒状の熱伝導体で形成し、該キャップ部に前記蛍光物質を詰めて測温部を形成すると共に、該測温部の前記蛍光物質と前記光ファイバーの先端との間に所定の作動距離を有して、該光ファイバーを前記測温部と分離して設けたことを特徴とする蛍光式光ファイバー温度計。
IPC (2件)：
G01K 11/12 ,  G01J 5/08
FI (2件)：
G01K 11/12 F ,  G01J 5/08 E
Fターム (10件)：
2F056VF01 ,  2F056VF11 ,  2F056VF20 ,  2G066AC11 ,  2G066BA18 ,  2G066BA19 ,  2G066BA55 ,  2G066BA57 ,  2G066BB01 ,  2G066BB20
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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