特許

J-GLOBAL ID：200903027419165981

高性能ナノチューブプローブ

発明者： 中山 喜萬 ,  秋田 成司 ,  原田 昭雄
出願人/特許権者： 中山 喜萬 ,  大研化学工業株式会社
代理人 (1件)： 三木 久巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-194858
公開番号（公開出願番号）：特開2000-346786
出願日： 1999年06月04日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 対象物質の表面情報を高精度に読み取ったり、高精度に書き込んだりできるナノチューブプローブを開発する。【解決手段】 カンチレバー4に突設された錐状体8と、この錐状体8の略頂点8aを通って先端部を突出させ、錐状体8の側面上でその高さ方向に基端部固定されたナノチューブ10から構成される。ナノチューブ10が固定される側面は、ナノチューブ10が有する側面のうちカンチレバー4の後端方向4aに対して垂面により近い主側面8bが選択される。更に、カンチレバー4の試料表面12に対する傾斜角がθであるとき、カンチレバー4の後端方向4aとナノチューブ先端方向10bの交差角度を略(90+θ)度に設定して、ナノチューブを物質表面に略90度で当接させる。

請求項（抜粋）：

カンチレバー4と、このカンチレバー4に突設された錐状体8と、この錐状体8の略頂点8aを通って先端部を突出させ、錐状体8の側面上でその高さ方向に基端部を固定されたナノチューブ10から構成されることを特徴とする高性能ナノチューブプローブ。

IPC (4件)：

G01N 13/16 ,  C01B 31/02 101 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30

FI (4件)：

G01N 13/16 C ,  C01B 31/02 101 F ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 Z

Fターム (40件)：

2F063AA43 ,  2F063CA09 ,  2F063DA01 ,  2F063DB01 ,  2F063DB05 ,  2F063DB06 ,  2F063EA16 ,  2F063EB05 ,  2F063EB15 ,  2F063EB23 ,  2F063EB27 ,  2F063GA57 ,  2F063JA04 ,  2F063MA05 ,  2F063ZA01 ,  2F069AA60 ,  2F069DD12 ,  2F069DD19 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG62 ,  2F069HH02 ,  2F069HH04 ,  2F069HH09 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ07 ,  2F069JJ08 ,  2F069JJ14 ,  2F069JJ15 ,  2F069JJ25 ,  2F069LL03 ,  2F069LL04 ,  2F069LL10 ,  2F069MM04 ,  2F069QQ05 ,  2F069QQ12 ,  2F069RR03 ,  4G046CB00 ,  4G046CC09

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 原子間力顕微鏡用探針およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-006187   出願人：株式会社日立製作所