特許
J-GLOBAL ID：200903027449945590
インクジェット記録用基板、インクジェット記録ヘッド用基板の製造方法、該基板を搭載するインクジェット記録ヘッド、およびインクジェット記録装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
宮崎 昭夫
, 金田 暢之
, 伊藤 克博
, 石橋 政幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-434954
公開番号（公開出願番号）：特開2005-193389
出願日： 2003年12月26日
公開日（公表日）： 2005年07月21日
要約：
【課題】インクジェット記録ヘッドをインクにより効率的に冷却する。【解決手段】 ウェハ裏面の酸化膜H1112をパターニングし、酸化膜の開口部H1114よりTMAHを用いた異方性エッチングでSi基板H1101にインク供給口H1102を形成していく。エッチングレートがSi基板H1101より高いAl犠牲層H1110の部分はSi部に対して数倍の速度で急速にエッチングされ、Si基板H1101表面までインク供給口H1102が開口し、インク供給口H1102が開口した時点で異方性エッチングを止めることで、発熱抵抗体H1103の真下部分には厚さt1のSi薄膜部H1108が形成される。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
インクを吐出するための熱エネルギを発生する熱エネルギ発生素子を基板の表面に有し、前記基板に、前記基板を貫通し、前記基板の裏面側から前記表面側へとインクを供給するためのインク供給口が形成されているインクジェット記録ヘッド用基板において、
前記基板の厚さが最も薄い薄膜部上に前記熱エネルギ発生素子を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッド用基板。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J3/04 103B
, B41J3/04 103H
2C057AF05
, 2C057AF93
, 2C057AG14
, 2C057AG46
, 2C057AG82
, 2C057AP02
, 2C057AP12
, 2C057AP34
, 2C057AP53
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA13
出願人引用 (5件)
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特開昭54-51837号公報
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特開昭57-72867号公報
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特開昭59-95154号公報
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審査官引用 (3件)
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