特許
J-GLOBAL ID：200903027451968980

光熱変換測定装置及びその方法

発明者：
高橋 英二

高橋 英二 について

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高松 弘行

高松 弘行 について

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甘中 将人

甘中 将人 について

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迫田 尚和

迫田 尚和 について


出願人/特許権者：
株式会社神戸製鋼所

株式会社神戸製鋼所 について


代理人 (1件)： 本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-035964
公開番号（公開出願番号）：特開2006-220600
出願日： 2005年02月14日
公開日（公表日）： 2006年08月24日
要約：
【課題】 試料中における光熱効果による特性変化の分布を,安定的に高精度かつ高感度で測定できること。 【解決手段】 試料5に励起光P3と測定光P1とを照射するとともに,その照射の際の試料5中における測定光P1の通過経路と励起光P3による励起部とが重複する測定位置Qを変化させ,その測定位置が変化した各状態における試料5を通過後の測定光P1の位相変化を光干渉法により測定する。測定位置Qを変化させる手段は,励起光P3を走査させる,試料5を変位させる,励起光P3を試料5中に集光させるレンズ4を変位させて試料5中における集光位置(焦点位置)を変化させる等の手段による。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
励起光が照射された試料の光熱効果により生じる前記試料の特性変化を測定する光熱変換測定装置であって, 前記試料に所定の測定光を照射する測定光照射手段と, 前記試料中における前記測定光の通過経路と前記励起光による励起部とが重複する測定位置を変化させる測定位置変更手段と, 前記測定位置変更手段により前記測定位置が変化した各状態における前記試料を通過後の前記測定光に基づいて前記試料の特性変化を測定する光測定手段と, を具備してなることを特徴とする光熱変換測定装置。
IPC (4件)：
G01N 25/16 ,  G01N 21/27 ,  G01N 21/41 ,  G01N 21/45
FI (4件)：
G01N25/16 C ,  G01N21/27 A ,  G01N21/41 Z ,  G01N21/45 A
Fターム (20件)：
2G040AA02 ,  2G040AB07 ,  2G059AA02 ,  2G059AA05 ,  2G059DD12 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE09 ,  2G059EE10 ,  2G059EE12 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ22 ,  2G059MM01 ,  2G059NN01
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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