特許
J-GLOBAL ID：200903027456362916
ステージ装置及び露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-098464
公開番号（公開出願番号）：特開2004-311459
出願日： 2003年04月01日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：
【課題】シンプルな構造で、ステージに保持される物体の高精度な位置制御を実現する。【解決手段】ステージWST1に接続された複数の可動子44A〜44Fと所定の一軸方向に沿って配設された複数の固定子46A〜46Fとを有する駆動装置DAにより、ステージに2次元面に平行な駆動力を作用させて、ステージを2次元面内方向及び該2次元面に対する傾斜方向に駆動する。これにより、従来のように、2次元移動ステージと、該ステージ上で前記傾斜方向に移動可能なテーブルとを有する構成を採用しなくとも、ステージを2次元面内方向及び傾斜方向に移動することができるので、ステージを簡素な一体物で構成することができる。従って、従来問題となっていた2次元移動ステージとテーブルとの組み合わせに起因するテーブルの位置制御性の低下現象と同様の要因によりステージの位置制御性が低下するおそれもない。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
物体を保持し、少なくとも重力方向に直交する2次元面内方向及び該2次元面に対する傾斜方向に移動可能なステージと;
前記ステージに接続された複数の可動子と、前記2次元面内の所定の一軸方向に沿って配設された複数の固定子とを有し、前記2次元面に平行な方向の駆動力により前記ステージを駆動する駆動装置と;を備えることを特徴とするステージ装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/68 K
, H01L21/68 F
, H01L21/30 503A
5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031HA13
, 5F031HA53
, 5F031HA55
, 5F031JA06
, 5F031JA17
, 5F031JA30
, 5F031JA32
, 5F031JA38
, 5F031JA50
, 5F031KA06
, 5F031KA07
, 5F031KA08
, 5F031LA08
, 5F031LA15
, 5F031MA27
, 5F046CC01
, 5F046CC03
, 5F046CC05
, 5F046CC06
, 5F046CC18
