特許
J-GLOBAL ID：200903032843538465
移動ステージ装置、及び該ステージ装置を用いた回路デバイス製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-071466
公開番号（公開出願番号）：特開平10-270535
出願日： 1997年03月25日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 移動ステージ装置の可動ステージ本体が引きずる電気配線や空圧用チューブの本数を低減して、ステージ装置の静特性、動特性を改善する。【解決手段】 移動ステージ装置1を構成するベース構造体上で可動ステージ構造体2がウェハ交換位置にきたとき、ベース構造体側に設けられた送電端子部9bと可動ステージ構造体側に設けられた受電端子部9aとを接触させ、送電端子部9bから供給される電流を受電端子部を介して可動ステージ構造体2に搭載されたバッテリーに充電するようにし、ステージ構造体がウェハ交換位置から離れたときはバッテリーの電力を使ってステージ構造体上に載置されるウェハを電気的に吸着維持するようにし、ウェハの交換動作の際の吸着開始、吸着解除等の制御を無線式又は有線のカプラ方式で行うように構成する。
請求項（抜粋）：
ベース構造体と、該ベース構造体で規定される所定平面に沿って移動するステージ構造体と、前記ステージ構造体上で被処理基板を保持する基板載置部とを有する移動ステージ装置において、前記ステージ構造体を前記ベース構造体から浮上させた状態で前記ベース構造体の所定平面に沿って非接触方式で移動させる電気的駆動手段と、前記被処理基板を前記基板載置部に吸着させる電気的吸着手段と、前記ステージ構造体に設けられて電気エネルギーを蓄積する再充電可能なバッテリーと、前記ステージ構造体に設けられて前記電気的駆動手段と前記電気的吸着手段の少なくとも1つに前記バッテリーからの電気エネルギーを制御して供給する給電制御回路と、前記ステージ構造体に設けられて前記給電制御回路の動作を指示する制御情報を受信する受信回路とを備えたことを特徴とする移動ステージ装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B23Q 1/44
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
H01L 21/68 K
, H01L 21/68 P
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 503 B
, H01L 21/30 515 G
, H01L 21/30 516 B
, B23Q 1/14 Z
