露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：伊東哲也 , 齋藤和則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-221127
公開番号（公開出願番号）：特開2006-041302
出願日： 2004年07月29日
公開日（公表日）： 2006年02月09日
要約：

【課題】原版クランプ時の原版面への歪の発生を防ぎ、原版を歪ませることなく露光可能にする。【解決手段】レチクル面に描かれたパターンを、投影光学系を介して基板に投影転写する露光装置において、該レチクル6に当接し保持位置決めを行なう為のレチクル保持面が設けられた第1の原版保持部位としてのZ位置決め7Bと、Z位置決め7Bのレチクル保持面に対して異なる位置で該レチクル6に当接し保持を行ない、Z位置決め7Bに対して相対的に変位可能に支持された第2の原版保持部位としてのレチクル弾性チャック7Aが設けられている。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

原版面に描かれたパターンを、投影光学系を介して基板に投影転写する露光装置において、該原版に当接し保持位置決めを行なう為の原版保持面が設けられた第1の原版保持部位と、前記第1の原版保持部位の原版保持面に対して異なる位置で該原版に当接し保持を行ない、前記第1の原版保持部位に対して相対的に変位可能に支持された第2の原版保持部位が設けられたことを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 , H01L 21/683

FI (4件)：

H01L21/30 515F , G03F7/20 521 , H01L21/68 P , H01L21/68 R

Fターム (15件)：

5F031CA07 , 5F031HA08 , 5F031HA13 , 5F031HA16 , 5F031HA30 , 5F031MA27 , 5F031PA13 , 5F046BA04 , 5F046BA05 , 5F046CC02 , 5F046CC09 , 5F046CC10 , 5F046CC11 , 5F046EB03 , 5F046ED03

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭62-100753
真空吸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-104097 出願人：日本電信電話株式会社
真空吸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-063778 出願人：日本電信電話株式会社

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