特許
J-GLOBAL ID：200903027511295395
真空排気システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-151590
公開番号（公開出願番号）：特開平9-317645
出願日： 1996年05月23日
公開日（公表日）： 1997年12月09日
要約：
【要約】【課題】 真空ポンプの長寿命化、排ガス処理装置の省容量化によって、運転の信頼性の向上、設備や運転コストの低減を図ることができる真空排気システムを提供する。【解決手段】 プロセスチャンバ10とチャンバを排気するための真空ポンプ12とを連通する排気配管14に、プロセスチャンバ10からの排ガスの所定の活性成分と反応してこれを不活性化する犠牲材料26を配した。
請求項（抜粋）：
プロセスチャンバと該チャンバを排気するための真空ポンプとを連通する排気配管に、該プロセスチャンバからの排ガスの所定の活性成分と反応してこれを不活性化する犠牲材料を配したことを特徴とする真空排気システム。
IPC (3件)：
F04B 39/16
, F04B 37/16
, H01L 21/02
F04B 39/16
, F04B 37/16
, H01L 21/02
