特許
J-GLOBAL ID：200903027520879960
XYテーブル
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
鎌田 文二
, 東尾 正博
, 鳥居 和久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-190281
公開番号（公開出願番号）：特開2005-022031
出願日： 2003年07月02日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：
【課題】精度低下の部位の特定と調整が容易で、組み付け作業に手間がかからないXYテーブルを提供することである。【解決手段】Y方向へ移動する一対の各移動体3a、3bを各固定ガイドレール2の軸受案内面に支持する静圧空気軸受11を、回転自由度を有するボールジョイント10を介して取り付けるとともに、各移動体3a、3bをベース1上面の軸受案内面に支持する静圧空気軸受13を、その移動方向と側方へ直角に張り出す張り出し部材12、14を介して取り付けることにより、各移動体3a、3b単体を安定な姿勢で固定ガイドレール2に沿って移動可能とし、各固定ガイドレール2と各移動体3a、3bの組み付け精度を調整したのち、他の各部も順次組み付けてその精度を個別に調整することができ、組み付け作業を容易に、かつ確実な精度で行うことができるようにした。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ベース上に固定された一対の平行な固定ガイドレールと、これらの各固定ガイドレールおよび前記ベース上面に設けた軸受案内面で案内されて、各固定ガイドレールに沿って移動する一対の第1の移動体と、これらの第1の各移動体に両端を連結され、前記固定ガイドレールに直角な移動ガイドレールと、この移動ガイドレールに設けた軸受案内面で案内されて、移動ガイドレールに沿って移動する第2の移動体とからなり、前記各移動体を静圧空気軸受により前記各軸受案内面で支持するようにしたXYテーブルにおいて、前記第1の各移動体を前記各固定ガイドレールの軸受案内面に支持する静圧空気軸受を、回転自由度を有する締結機構で第1の各移動体に取り付け、前記第1の各移動体を前記ベース上面の軸受案内面に支持する静圧空気軸受を、第1の各移動体に移動方向と側方へ直角に張り出して設けた張り出し部に取り付けたことを特徴とするXYテーブル。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (3件)：
3C048BC02
, 3C048CC07
, 3C048DD06
出願人引用 (3件)
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X-Yステージ装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-332213
出願人：住友重機械工業株式会社
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移動案内装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-177381
出願人：キヤノン株式会社
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特開昭61-100335
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