特許

J-GLOBAL ID：200903027571913926

高周波電流の測定方法

発明者： 枦 健治 ,  尊田 浩二
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社 ,  菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-238373
公開番号（公開出願番号）：特開平11-083907
出願日： 1997年09月03日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：

【要約】【課題】 高周波電源を使用する装置において、同軸ケーブルなど一連の高周波電流の伝達経路を繋ぎ換えるような作業を必要とせず、簡便に、低コストで、正確に高周波電流のスプリアス成分や周波数変動を測定できる高周波電流の測定方法を提供することを目的とする。【解決手段】 高周波電源1とマッチングボックス2との間は同軸ケーブル4によって電気的に接続され、マッチングボックス2と装置本体3との間は同軸ケーブル5によって電気的に接続されている。そして、同軸ケーブル5の外周にはクランプ式の高周波変流器(CT)6が配設され、高周波変流器6の出力信号がオシロスコープ7に与えられる構成となっている。

請求項（抜粋）：

高周波電源から出力される高周波電流の測定方法であって、前記高周波電流は同軸ケーブルを通じて負荷に与えられ、前記同軸ケーブルの外周を囲むように少なくとも1の高周波変流器を配設し、前記同軸ケーブルから漏洩する漏洩電流を測定することで、前記同軸ケーブルに流れる前記高周波電流を間接的に測定する、高周波電流の測定方法。

IPC (3件)：

G01R 15/18 ,  G01R 29/00 ,  H05H 1/46

FI (3件)：

G01R 15/02 G ,  G01R 29/00 F ,  H05H 1/46 M

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 放電を利用する真空装置における放電検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-222093   出願人：日本真空技術株式会社
• 誘導結合プラズマ発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-159470   出願人：株式会社日立製作所
• ノイズ消去回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-222934   出願人：関西日本電気株式会社
• 特開昭63-206669