特許
J-GLOBAL ID：200903027575418350

酸化亜鉛焼結体およびその製造方法、スパッタリングターゲット

発明者：
福島 英子

福島 英子 について


出願人/特許権者：
日立金属株式会社

日立金属株式会社 について


代理人 (2件)： 堀 城之 ,  塩田 康弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-075785
公開番号（公開出願番号）：特開2008-063214
出願日： 2007年03月23日
公開日（公表日）： 2008年03月21日
要約：
【課題】スパッタリングターゲットに用いた場合に異常放電を発生せず、比抵抗の小さな透明電極を得ることができる程度に緻密な酸化亜鉛焼結体を得る。【解決手段】ZnOにAlを添加した酸化亜鉛焼結体の製造方法であって、第1のZnO粉末とAl2O3粉末とを配合して焼成する仮焼粉末製造工程と、これによって得られた仮焼粉末と第2のZnO粉末とを配合、成形した成形体を形成し、これを焼成する本焼成工程とからなる。ここで、Al2O3粉末とZnO粉末とを配合、成形して焼結体を得るのではなく、まずZnAl2O4相を含む仮焼粉末を製造し、この仮焼粉末とZnO粉末とを配合、成形、焼成して酸化亜鉛焼結体を形成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ZnOにAl、Ga、In、Ti、Si、Ge、Snのうちいずれか1種以上の添加物元素を含有する酸化亜鉛焼結体の製造方法であって、 前記添加物元素の酸化物からなる酸化物粉末と第1のZnO粉末とを配合し、900〜1300°Cの範囲の温度で焼成して仮焼粉末を製造する仮焼粉末製造工程と、 前記仮焼粉末と第2のZnO粉末とを配合した本焼成前粉末を成形した成形体を1100〜1600°Cの範囲の温度で焼成して酸化亜鉛焼結体を得る本焼成工程とからなることを特徴とする酸化亜鉛焼結体の製造方法。
IPC (2件)：
C04B 35/453 ,  C23C 14/34
FI (2件)：
C04B35/00 P ,  C23C14/34 A
Fターム (19件)：
4G030AA16 ,  4G030AA32 ,  4G030AA34 ,  4G030AA36 ,  4G030AA37 ,  4G030AA38 ,  4G030AA39 ,  4G030BA02 ,  4G030GA08 ,  4G030GA11 ,  4G030GA14 ,  4G030GA22 ,  4G030GA25 ,  4G030GA27 ,  4K029BA49 ,  4K029BC09 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (1件)

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