特許

J-GLOBAL ID：200903027626573100

排ガス分解処理用プラズマ発生装置

発明者： 三好 照一 ,  佐伯 登 ,  山岸 悦男
出願人/特許権者： パール工業株式会社
代理人 (2件)： 鈴江 孝一 ,  鈴江 正二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-164480
公開番号（公開出願番号）：特開2004-008893
出願日： 2002年06月05日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：

【課題】全体をコンパクト、低コストかつ耐久性に優れた構成としながら、負荷インピーダンスの急激な変動に対する応答性を改善して所定の排ガス分解処理を非常に高性能かつ効率よく行なえるようにする。【解決手段】絶縁性管状容器5の外周に誘導結合方式の高周波放電用電極9を巻回してなる高周波放電管4の容器5内にプラズマを発生されて半導体プロセスチャンバー1から排出される排ガスを分解処理するように構成された排ガス分解処理用プラズマ発生装置における高周波電力整合回路27を固定式または半固定式に構成するとともに、高周波電力発生源8の発振器13を周波数可変式に構成し、この発振器13の発振周波数を負荷インピーダンスに出力インピーダンスが整合されるように可変制御する周波数制御回路26を設けている。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

絶縁性管状容器の外周に誘導結合方式の高周波放電用電極を螺旋コイル状に巻回させて構成される高周波放電管と、この高周波放電管のコイル状高周波放電用電極に高周波電力を印加して上記容器内にプラズマを発生させる高周波電力発生源と、この高周波電力発生源の出力インピーダンスを上記高周波放電管の負荷インピーダンスに整合させる高周波電力整合回路とを備えている排ガス分解処理用プラズマ発生装置であって、 上記高周波電力整合回路はインピーダンスを予め設定された値に固定保持する固定式または手動で微調整可能な半固定式に構成されているとともに、上記高周波電力発生源の発振器は周波数可変式に構成され、かつ、この発振器による発振周波数を負荷インピーダンスに高周波電力発生源の出力インピーダンスが整合されるように制御する周波数制御回路が設けられていることを特徴とする排ガス分解処理用プラズマ発生装置。

IPC (5件)：

B01D53/68 ,  B01J19/08 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H05H1/46

FI (5件)：

B01D53/34 134C ,  B01J19/08 E ,  H01L21/205 ,  H05H1/46 R ,  H01L21/302 101G

Fターム (33件)：

4D002AA22 ,  4D002AC10 ,  4D002BA07 ,  4D002DA35 ,  4D002DA70 ,  4G075AA03 ,  4G075AA37 ,  4G075BA05 ,  4G075CA25 ,  4G075CA47 ,  4G075DA02 ,  4G075EB21 ,  4G075EC21 ,  4G075EE02 ,  4G075FB02 ,  4G075FC11 ,  4K030EA12 ,  4K030KA30 ,  4K030LA15 ,  5F004AA16 ,  5F004BC08 ,  5F004DA00 ,  5F004DA01 ,  5F004DA02 ,  5F004DA03 ,  5F004DA17 ,  5F004DA18 ,  5F045AA03 ,  5F045AA06 ,  5F045AA08 ,  5F045BB20 ,  5F045EG07 ,  5F045EH01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 有機フッ素系排ガスの分解処理方法及び分解処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-241090   出願人：三井化学株式会社
• 磁界発生用コイル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-269181   出願人：株式会社ダイヘン
• 周波数整合器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-216768   出願人：ケーイーエム株式会社