特許
J-GLOBAL ID：200903027716591760

ノズル板の製造方法および液体吐出ヘッドの製造方法

発明者：
高橋 秀治

高橋 秀治 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-230935
公開番号（公開出願番号）：特開2008-049673
出願日： 2006年08月28日
公開日（公表日）： 2008年03月06日
要約：
【課題】 ノズルのストレート部を加工精度よく形成するとともに、ノズルのストレート部とテーパ部との位置ずれを防止し、吐出性能を向上させること。 【解決手段】 基板20に対して第1のエッチングを行って、基板20にストレート形状の貫通孔510を形成し(工程F)、基板20の一方の面のうちで貫通孔510の周辺のみを露出させる保護膜保護膜34を形成し(工程H)、保護膜34が形成された基板20の前記一方の面側から第2のエッチングを行って、ストレート形状の貫通孔510のうちで一方の面側の部分をテーパ形状に変えることによりノズル51のテーパ部512を形成するとともに、ストレート形状の貫通孔510のうちで他方の面側の残り部分をノズル51のストレート部511として残す(工程J)。【選択図】 図9
請求項（抜粋）：
所定の基板に、前記基板の第1の面側に開口しているテーパ部と、該テーパ部に連通し前記基板の前記第1の面とは反対側の第2の面側に開口しているストレート部とを有するノズルを形成するノズル板の製造方法において、 前記基板に対して第1のエッチングを行って、前記基板にストレート形状の貫通孔を形成する第1のエッチング工程と、 前記基板の前記第1の面のうちで前記貫通孔の周辺のみを露出させる保護膜を前記基板の表面に形成する保護膜形成工程と、 前記保護膜が形成された前記基板の前記第1の面側から第2のエッチングを行って、ストレート形状の前記貫通孔のうちで前記第1の面側の部分をテーパ形状に変えることにより前記ノズルの前記テーパ部を形成するとともに、ストレート形状の前記貫通孔のうちで前記第2の面側の残り部分を前記ノズルの前記ストレート部として残す第2のエッチング工程と、 を備えることを特徴とするノズル板の製造方法。
IPC (1件)：
B41J 2/135
FI (1件)：
B41J3/04 103N
Fターム (11件)：
2C057AF93 ,  2C057AG02 ,  2C057AG04 ,  2C057AP12 ,  2C057AP13 ,  2C057AP32 ,  2C057AP33 ,  2C057AP34 ,  2C057AP53 ,  2C057AP56 ,  2C057AQ02
引用特許：
出願人引用 (3件)

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