レーザービームを均質化する光ファイバー装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：筒井大和 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-508984
公開番号（公開出願番号）：特表2000-502191
出願日： 1996年08月06日
公開日（公表日）： 2000年02月22日
要約：

【要約】レーザービームを均質化する光学装置は、処理すべきレーザービームを、各々実質的に一様な横断面および実質的に均質なエネルギー分布をもつm×n個のレーザービームに分割する複数の隣接した前方レンズ(LFmn)と、前方レンズ(LFmn)の焦面に配置され、各々複数の前方レンズ(LFmn)のなかから選択された一つの前方レンズ(LFmn)の焦点に配置される複数の入射瞳(PEij)を備えた第1中間面(PI1)と、複数の出射瞳(PSij)を備えた第2中間面(PI2)と、複数の出射瞳(PSij)からのビームを集束できる集束レンズ(LC)と、複数の入射瞳(PEij)からの光ビームを複数の出射瞳(PSkl)へ個々に伝送する光学伝送手段とを有している。

請求項（抜粋）：

レーザービームを均質化する光学装置において、前記装置は、 -処理すべきレーザービームの伝搬方向に垂直にm列およびn行きに配置され、前記処理すべきレーザービームをm×n個のレーザービームに分割することができ、各レーザービームが実質的に一様な横断面および実質的に均質なエネルギー分布をもつ複数の隣接した前方レンズ(LFmn)と、 -前記レーザービームの伝搬方向において前記前方レンズ(LFmn)の下流に前記レーザービームの伝搬方向に垂直に配置され、選択した平面(CIB)において前記前方レンズからのビームを集束させて均質なビームを得るようにした少なくとも一つの集束レンズ(LC)とを有し、さらに、 -実質的に前記前方レンズ(LFmn)の焦面に位置し、各々前記複数の前方レンズ(LFmn)のなかから選択した一つの前方レンズ(LFmn)の焦点に実質的に配置した複数の入射瞳(PEij)を備えた第1中間面(PI1)と、 -複数の出射瞳(PSij)を備え、前記出射瞳(PSij)からのビームを前記集束レンズで集束できるようにした第2中間面(PI2)と、 -前記複数の入射瞳(PEij)からの光ビームを前記複数の出射瞳(PSij)に向かって個々に伝送するのに適した光学伝送手段とを有することを特徴とするレーザービームを均質化する光学装置。

IPC (5件)：

G02B 27/09 , B23K 26/00 , G02B 3/00 , G02B 6/28 , G02B 15/00

FI (5件)：

G02B 27/00 E , B23K 26/00 E , G02B 3/00 A , G02B 15/00 , G02B 6/28 Q

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平1-286478
照明方法および照明装置および投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-018676 出願人：株式会社日立製作所
特開平4-034918

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