特許
J-GLOBAL ID：200903027811657736

三元アルミニウム合金膜およびターゲット

発明者：
サルカール、ジェイディープ

サルカール、ジェイディープ について

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ロー、チ-フン

ロー、チ-フン について

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ギルマン、ポール、エス.

ギルマン、ポール、エス. について


出願人/特許権者：
プラクスエア・テクノロジー・インコーポレイテッド

プラクスエア・テクノロジー・インコーポレイテッド について


代理人 (9件)： 特許業務法人浅村特許事務所 ,  浅村 皓 ,  浅村 肇 ,  吉田 裕 ,  森 徹 ,  白江 克則 ,  横田 裕弘 ,  田中 正 ,  金井 建
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-504207
公開番号（公開出願番号）：特表2009-532587
出願日： 2007年03月28日
公開日（公表日）： 2009年09月10日
要約：
平板ディスプレイを製造するための物理蒸着用ターゲットが実現される。このターゲットは、原子パーセントで、約90〜99.98の量の、アルミニウムである第1成分、約0.01〜2.0の量の、Nd、Ce、DyおよびGdから成る群から選択された希土類元素である第2成分、および、約0.01〜8.0の量の、Ni、Co、Mo、ScおよびHfから成る群から選択された第3成分を有する三元合金を含む。
請求項（抜粋）：
平板ディスプレイを製造するための物理蒸着用ターゲットにおいて、 原子パーセントで、約90〜99.98の量の、アルミニウムである第1成分、約0.01〜2.0の量の、Nd、Ce、DyおよびGdから成る群から選択された希土類元素である第2成分、および約0.01〜8.0の量の、Ni、Co、Mo、ScおよびHfから成る群から選択された第3成分を含む三元合金を包含する物理蒸着用ターゲット。
IPC (6件)：
C23C 14/34 ,  C22C 21/00 ,  C22F 1/02 ,  C22F 1/04 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/285
FI (7件)：
C23C14/34 A ,  C22C21/00 A ,  C22F1/02 ,  C22F1/04 D ,  H01L21/28 301R ,  H01L21/285 301 ,  H01L21/285 S
Fターム (15件)：
4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA03 ,  4K029BD01 ,  4K029CA05 ,  4K029DC04 ,  4K029DC08 ,  4M104AA09 ,  4M104BB02 ,  4M104BB38 ,  4M104BB39 ,  4M104DD40 ,  4M104GG04 ,  4M104HH03 ,  4M104HH16
引用特許：
審査官引用 (6件)
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