表示デバイスおよびその製法、ならびにスパッタリングターゲット

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：小谷悦司 , 植木久一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-274288
公開番号（公開出願番号）：特開2004-214606
出願日： 2003年07月14日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：

【課題】アルミニウム合金膜と透明電極が直接コンタクトすることを可能とし、バリアメタルの省略を可能にするアルミニウム合金膜を用いた表示デバイスとその製造技術を提供すること。【解決手段】ガラス基板上に配置された薄膜トランジスタと、透明電極によって形成された画素電極と、これら薄膜トランジスタと画素電極を電気的に接続するアルミニウム合金膜によって形成された接続配線部を主たる構成要素として備えた表示デバイスとその製法を開示する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ガラス基板上に配置された薄膜トランジスタと、透明電極によって形成された画素電極、および、これら薄膜トランジスタと画素電極を電気的に接続するアルミニウム合金膜を有し、該アルミニウム合金膜と前記画素電極は、Mo,Cr,Ti,Wからなる高融点金属を介さずに直接接続しており、前記アルミニウム合金膜と画素電極が直接接触した接触界面において、前記アルミニウム合金膜を構成する合金成分の一部または全部が、析出物もしくは濃化層として存在していることを特徴とする表示デバイス。

IPC (7件)：

H01L29/786 , G02F1/1343 , H01L21/28 , H01L21/285 , H01L21/3205 , H01L21/336 , H01L21/768

FI (7件)：

H01L29/78 616V , G02F1/1343 , H01L21/28 301R , H01L21/285 S , H01L29/78 616K , H01L21/88 N , H01L21/90 A

Fターム (112件)：

2H092GA29 , 2H092GA51 , 2H092HA03 , 2H092HA04 , 2H092HA06 , 2H092HA12 , 2H092HA18 , 2H092JA25 , 2H092JA26 , 2H092JA33 , 2H092JA35 , 2H092JA46 , 2H092KA04 , 2H092KA05 , 2H092KA10 , 2H092KA11 , 2H092KA12 , 2H092KA15 , 2H092KB01 , 2H092KB04 , 2H092KB11 , 2H092KB25 , 2H092MA05 , 2H092MA08 , 2H092MA13 , 2H092MA17 , 2H092MA27 , 2H092MA30 , 2H092MA42 , 2H092NA25 , 2H092NA27 , 2H092NA28 , 2H092NA30 , 4M104AA09 , 4M104BB02 , 4M104BB36 , 4M104BB38 , 4M104DD37 , 4M104DD40 , 4M104GG09 , 4M104GG10 , 4M104GG14 , 4M104HH15 , 5F033GG04 , 5F033HH09 , 5F033HH10 , 5F033HH38 , 5F033JJ10 , 5F033JJ38 , 5F033KK04 , 5F033KK10 , 5F033MM19 , 5F033NN13 , 5F033PP15 , 5F033QQ09 , 5F033QQ11 , 5F033QQ19 , 5F033QQ34 , 5F033QQ37 , 5F033QQ69 , 5F033QQ73 , 5F033QQ92 , 5F033QQ94 , 5F033RR04 , 5F033RR06 , 5F033SS15 , 5F033VV12 , 5F033VV15 , 5F033WW04 , 5F033XX09 , 5F033XX33 , 5F110AA16 , 5F110AA30 , 5F110BB01 , 5F110CC02 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD17 , 5F110EE06 , 5F110EE23 , 5F110EE44 , 5F110FF02 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG13 , 5F110GG15 , 5F110GG24 , 5F110GG25 , 5F110HJ01 , 5F110HJ13 , 5F110HJ23 , 5F110HK06 , 5F110HK09 , 5F110HK21 , 5F110HK27 , 5F110HK28 , 5F110HK42 , 5F110HL06 , 5F110HL23 , 5F110HM18 , 5F110NN03 , 5F110NN04 , 5F110NN14 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN35 , 5F110NN72 , 5F110PP03 , 5F110PP35 , 5F110QQ12

引用特許：

出願人引用 (3件)

表示装置用アレイ基板及びこのアレイ基板を備えた平面表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-083260 出願人：株式会社東芝
薄膜トランジスタの製造方法およびこれを用いた液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-086291 出願人：三菱電機株式会社
薄膜トランジスタおよび該薄膜トランジスタを用いた液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-086292 出願人：三菱電機株式会社, 株式会社アドバンスト・ディスプレイ

審査官引用 (6件)

薄膜トランジスタの製造方法およびこれを用いた液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-086291 出願人：三菱電機株式会社
半導体電極用Al-Ni-Y 合金薄膜および半導体電極用Al-Ni-Y 合金薄膜形成用スパッタリングターゲット
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-093780 出願人：株式会社神戸製鋼所
アルミニウム合金スパッタリングタ-ゲット材料
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-374003 出願人：株式会社神戸製鋼所

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