特許
J-GLOBAL ID:200903027833089553
耐熱割れ性および耐食性に優れたAl材料
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
明田 莞
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-031254
公開番号(公開出願番号):特開平11-229185
出願日: 1998年02月13日
公開日(公表日): 1999年08月24日
要約:
【要約】【課題】 高温熱サイクル下で、ガスやプラズマの腐食環境下にあっても、陽極酸化皮膜に割れが発生せず、しかもガスやプラズマに対する耐食性に優れる陽極酸化皮膜を設けたAl合金材料を提供する。【解決手段】 耐熱割れ性および耐食性に優れたAl材料として、ポアを有するポーラス層4 とポアのないバリア層5 とを有する陽極酸化皮膜A が表面に形成されたAl材料であって、前記ポーラス層4 のポア3 の径を、Al合金基材側W2に比して陽極酸化皮膜の表面側W1を小さくし、かつ皮膜中にベーマイトおよび/ または擬ベーマイト6 が形成されていることである。
請求項(抜粋):
ポアを有するポーラス層とポアのないバリア層とを有する陽極酸化皮膜が表面に形成されたAl材料であって、前記ポーラス層のポア径を、Al合金基材側に比して陽極酸化皮膜の表面側を小さくし、更に、陽極酸化皮膜表面から皮膜厚さの5%以上の深さ部分で、かつ皮膜層に対する体積率で20 %以上の部分がベーマイトおよび/ または擬ベーマイトを形成していることを特徴とする耐熱割れ性および耐食性に優れたAl材料。
IPC (6件):
C25D 11/04 302
, C25D 11/18 301
, H01L 21/02
, H01L 21/203
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
FI (6件):
C25D 11/04 302
, C25D 11/18 301 Z
, H01L 21/02 Z
, H01L 21/203 Z
, H01L 21/205
, H01L 21/302 B
引用特許:
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