特許
J-GLOBAL ID:200903027856824315
元素分析装置
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
根岸 裕一
, 本山 泰
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-274813
公開番号(公開出願番号):特開2007-047185
出願日: 2006年10月06日
公開日(公表日): 2007年02月22日
要約:
【課題】 元素の分析を高感度かつ高精度に行うことができる元素分析装置を提供することを目的とする。【解決手段】 プラズマトーチ2のプラズマ室2dは、先端に行くほど絞られた円錐台形状となっている。加えて、その周囲には高周波付加用のコールドコイル3が配置されている。そして、Arが供給されている状態でコールドコイル3により高周波(27.12MHz)を印加することで、プラズマ室ではプラズマ4が発生する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
分析対象の試料を解離させることで生じた原子を用いて前記試料を分析する元素分析装置において、
周囲に高周波を印加するためのコイルが配置され、前記高周波によりプラズマを生成して前記試料を解離させるプラズマ室を備えたトーチと、
前記プラズマ室に向かって前記試料溶液が吐出される試料供給部と、
プラズマ源となりかつ前記試料供給部より吐出される試料溶液を気化するための補助ガスを前記プラズマ室に向かって前記試料供給部周囲より供給する補助ガス供給部と、
プラズマ源となりかつ前記トーチ壁面を冷却するための主ガスを前記プラズマ室に向かって前記補助ガス供給部周囲より供給する主ガス供給部と、
前記トーチより吐出されたプラズマ中の解離された前記試料の原子の状態を検出する検出器と
を備え、
前記トーチのプラズマ室が配置される先端部は、所定の絞り角度θで先端に行くほど絞られた円錐台形状に形成され、
前記トーチの出口には円筒形状の先端ノズルが設けられ、
前記絞り角度θは、トーチ先端部の径が0.1〜100mmの範囲のとき5〜60度の範囲である
ことを特徴とする元素分析装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (12件):
2G041CA01
, 2G041DA14
, 2G041EA03
, 2G041FA02
, 2G041GA02
, 2G041GA14
, 2G043AA01
, 2G043CA03
, 2G043DA05
, 2G043EA08
, 2G043EA13
, 2G043FA06
引用特許: