特許
J-GLOBAL ID：200903027894025620

機能素子及びその製造方法、ならびに固体撮像素子及びその製造方法

発明者：
荒木 康

荒木 康 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (5件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  濱田 百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-205972
公開番号（公開出願番号）：特開2006-054447
出願日： 2005年07月14日
公開日（公表日）： 2006年02月23日
要約：
【課題】機能膜の機能特性を劣化させることなく有機材料を含む機能膜と透光性電極とを積層した機能素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】有機材料を含む光電変換膜14、19、24と、光電変換膜14、19、24に積層される透光性電極15、20、25とを含む光電変換素子の製造方法であって、透光性電極15、20、25のパターニング工程に含まれる透光性電極15、20、25のエッチング工程において、少なくともエッチング工程開始からエッチング工程完了直前までの所定時間、10nm/min以上のエッチング速度で透光性電極15、20、25をエッチングする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
機能層としての有機材料を含む膜の上層に電極膜を備えた機能素子の製造方法であって、 前記電極膜のパターニング工程が、10nm/min以上のエッチング速度で前記電極膜をエッチングする高速エッチング工程を含む機能素子の製造方法。
IPC (4件)：
H01L 21/306 ,  H04N 5/335 ,  H01L 27/146 ,  H01L 51/42
FI (5件)：
H01L21/302 104H ,  H04N5/335 U ,  H01L27/14 E ,  H01L21/302 105A ,  H01L31/08 T
Fターム (48件)：
4M118AA08 ,  4M118AB01 ,  4M118BA07 ,  4M118BA08 ,  4M118CA15 ,  4M118CA27 ,  4M118CB05 ,  4M118CB14 ,  4M118EA01 ,  4M118FA06 ,  4M118GB03 ,  4M118GB08 ,  4M118GB11 ,  5C024AX01 ,  5C024BX01 ,  5C024CY47 ,  5C024GY01 ,  5C024GY31 ,  5C024HX01 ,  5F004AA09 ,  5F004DA00 ,  5F004DA23 ,  5F004DA25 ,  5F004DA26 ,  5F004DB13 ,  5F004DB31 ,  5F004EA28 ,  5F004EB02 ,  5F049MB08 ,  5F049NA20 ,  5F049NB05 ,  5F049RA02 ,  5F049RA08 ,  5F049SE02 ,  5F049SE03 ,  5F049SE04 ,  5F049SS03 ,  5F088AB11 ,  5F088BA10 ,  5F088BB03 ,  5F088CB14 ,  5F088EA04 ,  5F088EA08 ,  5F088FA02 ,  5F088FA03 ,  5F088FA04 ,  5F088GA04 ,  5F088LA03
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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