特許
J-GLOBAL ID：200903027909581223
硬質炭素膜及びその被覆部材
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上代 哲司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-034772
公開番号（公開出願番号）：特開平10-226874
出願日： 1997年02月19日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：
【要約】【課題】 厚膜化を容易にし、内部応力に起因する剥離を防ぐ硬質炭素膜を被覆した部材を提供する。【解決手段】 表面側の硬質炭素から成る積層膜3又は4と基材1側の硬質炭素炭素から成る積層膜4又は3の電気抵抗率が少なくとも2桁異なる硬質炭素膜2で構成する。その間に表面側が高電気抵抗率または表面側が低電気抵抗率となるような電気抵抗率の順で硬質炭素から成る中間の積層膜11が積層されている。あるいは、基材1側から表面側へ向かって電気抵抗率が、厚さ方向に連続して、大きくあるいは小さくなるように変化し、基材1側と表面側の硬質炭素膜の電気抵抗率が少なくとも2桁相違する硬質炭素膜2で構成する。
請求項（抜粋）：
成分が炭素、又は炭素と水素からなり、基材側と表面側の電気抵抗率が少なくとも2桁相違していることを特徴とする硬質炭素膜。
IPC (3件)：
C23C 14/06
, C23C 16/26
, C23C 16/30
C23C 14/06 F
, C23C 16/26
, C23C 16/30
