光学的検査方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：社本一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-186159
公開番号（公開出願番号）：特開平10-123059
出願日： 1997年07月11日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：

【要約】【課題】透過光と反射光とを用いた光学的検査装置を提供すること。【解決手段】フォトマスクPMを光学的に検査してその状態を指示する装置は、フォトマスクPMの一方の面から周期的に光を反射させて一連の短時間の反射光を生成し、且つ、フォトマスクPMに周期的に光を透過させて一連の短時間の透過光を前記反射光と時間的にずらせて生成する光学系4、12を備える。センサ20はこれらの反射光及び透過光を受け取り、それに対応した出力をプロセッサ32に与える。プロセッサ32はフォトマスクPMの状態の指示を与える。

請求項（抜粋）：

第1の面と第2の面とを有する対象物を光学的に検査して該対象物の状態を表示する方法であって、前記対象物の前記第1の面から周期的に光線を反射させ、一連の時間的に離れた短時間の反射光を生成するステップと、前記対象物に光線を周期的に透過させ、一連の時間的に離れた且つ前記反射光と時間的に交互に配置された短時間の透過光を生成するステップと、前記の短時間の反射光と透過光とを感知し、それに対応した電気出力を発生するステップと、前記電気出力を処理し、前記対象物の状態の表示を提供するステップと、を有する方法。

引用特許：

審査官引用 (5件)

欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-226509 出願人：株式会社東芝
異物検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-104378 出願人：株式会社ニコン
特開平4-339244

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