特許
J-GLOBAL ID：200903027948958148

ウェハ等の円板状体の中心決定方法、及びウェハ等の円板状体の中心決定装置

発明者：
石原 明

石原 明 について

, 
増本 真悟

増本 真悟 について


出願人/特許権者：
日東電工株式会社

日東電工株式会社 について


代理人 (1件)： 藤本 昇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-082196
公開番号（公開出願番号）：特開平8-279547
出願日： 1995年04月07日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、オリエーテーションフラット等の不連続部分を含む円板状体の中心を高い精度でもって決定することができる円板状体の中心決定方法を提供することを目的とする。【構成】 本発明に係る円板状体の中心決定方法は、ウェハ等の円板状体の回転角度並びに該回転角度に対応する円板状体の周縁部の位置より円板状体の中心Oを決定する方法であって、円板状体の一点O1 から円板状体の複数の周縁部までの距離R1m,R2m,...をそれぞれ演算して、該演算により得られた距離データのうち大きいものから所定割合の距離データについて分散Vc を計算することにより中心Oを決定することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ウェハ(2) 等の円板状体の回転角度並びに該回転角度に対応する円板状体の周縁部(2a)の位置より円板状体の中心を決定する方法であって、円板状体の一点から円板状体の複数の周縁部(2a,...) までの距離をそれぞれ演算して、該演算により得られた距離データのうち大きいものから所定割合の距離データについて分散を計算することにより中心を決定することを特徴とするウェハ等の円板状体の中心決定方法。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  G01B 5/00
FI (2件)：
H01L 21/68 F ,  G01B 5/00 F
引用特許：
審査官引用 (3件)

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