特許
J-GLOBAL ID:200903027978877495

角速度センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件): 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-341767
公開番号(公開出願番号):特開2006-153542
出願日: 2004年11月26日
公開日(公表日): 2006年06月15日
要約:
【課題】 循環する流体に生じるコリオリ力を利用することによって、小型化が図られ、感度が向上し、かつ、耐衝撃性が高められた角速度センサを提供する。【解決手段】 角速度センサは、電界共役流体(Electro-Conjugate Fluid=ECF)が循環する閉流路2と、ECFを循環させる駆動部としての正の電極および負の電極と、閉流路2の一部として設けられたダイヤフラム6および8と、ダイヤフラム6および8のひずみを検出するひずみ検出器11および13とを備えている。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
流体が循環する閉流路と、 前記流体を循環させる駆動部と、 前記閉流路の一部として設けられたダイヤフラムと、 前記ダイヤフラムのひずみを検出するひずみ検出器とを備えた、角速度センサ。
IPC (2件):
G01C 19/14 ,  H01L 29/84
FI (2件):
G01C19/14 ,  H01L29/84 Z
Fターム (11件):
4M112AA02 ,  4M112BA01 ,  4M112CA41 ,  4M112CA43 ,  4M112CA46 ,  4M112DA10 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA06 ,  4M112FA01 ,  4M112FA20
引用特許:
出願人引用 (4件)
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