特許

J-GLOBAL ID：200903027983869891

表面検査方法および表面検査装置

発明者： 芳賀 一実 ,  坂井 基志 ,  石黒 義弘
出願人/特許権者： 株式会社ニュークリエイション
代理人 (1件)： 荒船 良男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-077985
公開番号（公開出願番号）：特開平10-267636
出願日： 1997年03月28日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】 簡易な装置構成で、周期的な凹凸パターンの形状を精度良く、しかも広い範囲を一度で表面検査する。【解決手段】 平行光束からなる照明光で測定対象領域を照射し、当該測定対象領域の所定の周期で周期的な凹凸パターンが形成された表面状態を検査する表面検査方法であって、前記測定対象領域の斜方から当該測定対象領域を前記照明光で照射する第1のステップと、前記測定対象領域への前記照明光の入射方向と合致する光軸を有し当該測定対象領域の一点に対する物側開口角が所定角度に設定された物側テレセントリック光学系または像物側テレセントリック光学系で当該測定対象領域での反射光を結像する第2のステップと、この結像された像を撮像して前記測定対象領域の各点の輝度データを収集する第3のステップと、前記輝度データを所定方向について周波数分解し周波数データとする第4のステップと、前記周波数データのうちから所定の周波数成分を抽出して合成する第5のステップとを備える。

請求項（抜粋）：

平行光束からなる照明光で測定対象領域を照射し、当該測定対象領域の所定の周期で周期的な凹凸パターンが形成された表面状態を検査する表面検査方法であって、前記測定対象領域の斜方から当該測定対象領域を前記照明光で照射する第1のステップと、前記測定対象領域への前記照明光の入射方向と合致する光軸を有し当該測定対象領域の一点に対する物側開口角が所定角度に設定された物側テレセントリック光学系または像物側テレセントリック光学系で当該測定対象領域での反射光を結像する第2のステップと、この結像された像を撮像して前記測定対象領域の各点の輝度データを収集する第3のステップと、前記輝度データを所定方向について周波数分解し周波数データとする第4のステップと、前記周波数データのうちから所定の周波数成分を抽出して合成する第5のステップとを備えることを特徴とする表面検査方法。

IPC (3件)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00

FI (3件)：

G01B 11/30 Z ,  G01N 21/88 Z ,  G06F 15/62 400

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-307603   出願人：芳賀一実, 株式会社レイテックス
• 欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-026981   出願人：松下電器産業株式会社
• 繰返しパターンをもつ表面の欠陥検査方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-090870   出願人：インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイシヨン