感光性組成物、感光材料、レリーフパターンの製造法及びポリイミドパターンの製造法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-142776
公開番号（公開出願番号）：特開平9-325480
出願日： 1996年06月05日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】優れた感光特性及び保存安定性を示す感光性組成物及び、感光材料、優れた耐熱性、密着性及び耐薬品性を示すポリイミドパターンを与えるレリーフパターンの製造法及びポリイミドパターンの製造法を提供する。【解決手段】下記一般式(I)例えば、2,2′,4,4′,5,5′-ヘキサアリルビスイミダゾールで示される芳香族ビスイミダゾール化合物、芳香族メルカプト化合物及び常圧において100°C以上の沸点を有する付加重合性化合物を含有してなる感光性組成物、前記芳香族ビスイミダゾール化合物、芳香族メルカプト化合物、化学線により2量化又は重合可能な炭素炭素二重結合及びエステル結合基又は尿素結合基を有するポリアミドを含有してなる感光材料、前記感光性組成物又は前記感光材料の塗膜に活性光線をパターン状に照射し、未照射部を現像除去するレリーフパターンの製造法並びにレリーフパターンを加熱するポリイミドパターンの製造法。

請求項（抜粋）：

下記一般式(I)【化1】(式中、R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8、R9、R10、R11、R12、R13、R14及びR15は、各々独立に、水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、ハロゲン原子、トリハロメチル基又は炭素数1〜5のアルコキシ基を表す)で示される芳香族ビスイミダゾール化合物、芳香族メルカプト化合物及び常圧において100°C以上の沸点を有する付加重合性化合物を含有してなる感光性組成物。

IPC (10件)：

G03F 7/028 , G03F 7/008 , G03F 7/027 501 , G03F 7/027 514 , G03F 7/038 504 , G03F 7/038 505 , G03F 7/30 , G03F 7/40 501 , H01L 21/027 , H01L 21/312

FI (10件)：

G03F 7/028 , G03F 7/008 , G03F 7/027 501 , G03F 7/027 514 , G03F 7/038 504 , G03F 7/038 505 , G03F 7/30 , G03F 7/40 501 , H01L 21/312 B , H01L 21/30 502 R

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開平1-279903
特開平4-304456
特開平1-223444

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審査官引用 (6件)

特開平1-279903
特開平4-304456
特開平1-223444

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