特許
J-GLOBAL ID：200903028081839996

感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法

発明者：
大橋 武志

大橋 武志 について

, 
磯 純一

磯 純一 について


出願人/特許権者：
日立化成工業株式会社

日立化成工業株式会社 について


代理人 (1件)： 穂高 哲夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-218736
公開番号（公開出願番号）：特開2003-029399
出願日： 2001年07月18日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
要約：
【要約】【課題】 密着性、解像度、レジスト形状、耐めっき性、耐薬品性に優れた感光性エレメンを提供する。【解決手段】 (A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有し、分子内にエチレングリコール鎖と炭素数3〜6のアルキレングリコール鎖からなる群から選択されるアルキレングリコール鎖とを少なくとも各々1つ有する光重合性化合物、(C)光重合開始剤及び(D)一般式(I)【化1】(式中Xは、ハロゲン原子、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、アミノ基若しくは炭素数1〜20のアルキル基で置換されていても良いアリール基、アミノ基、メルカプト基、炭素数1〜10のアルキルメルカプト基、アルキル基の炭素数が1〜10のカルボキシアルキル基、炭素数1〜20のアルコキシ基又は複素環からなる基を示す。)で示される化合物を含有する感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
(A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有し、分子内にエチレングリコール鎖と炭素数3〜6のアルキレングリコール鎖からなる群から選択されるアルキレングリコール鎖とを少なくとも各々1つ有する光重合性化合物、(C)光重合開始剤及び(D)一般式(I)【化1】(式中Xは、ハロゲン原子、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、アミノ基若しくは炭素数1〜20のアルキル基で置換されていても良いアリール基、アミノ基、メルカプト基、炭素数1〜10のアルキルメルカプト基、アルキル基の炭素数が1〜10のカルボキシアルキル基、炭素数1〜20のアルコキシ基又は複素環からなる基を示し、m及びnは、mが2以上の整数であり、nが0以上の整数であって、m+n=6となるように選ばれる整数であり、nが2以上の整数のとき、2以上のXは各々同一でも相違しても良い。)で示される化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18
FI (6件)：
G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 ,  H05K 3/00 F ,  H05K 3/06 H ,  H05K 3/18 D
Fターム (32件)：
2H025AA02 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025CA00 ,  2H025CC20 ,  2H025FA40 ,  5E339BC02 ,  5E339BD11 ,  5E339BE13 ,  5E339CC01 ,  5E339CD01 ,  5E339CE11 ,  5E339CF01 ,  5E339CF06 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339CG04 ,  5E339DD02 ,  5E339DD04 ,  5E343BB24 ,  5E343CC62 ,  5E343CC65 ,  5E343DD33 ,  5E343ER12 ,  5E343ER16 ,  5E343ER18 ,  5E343GG03 ,  5E343GG08
引用特許：
審査官引用 (4件)
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