特許

J-GLOBAL ID：200903028111206187

プラズマエッチング用電極板

発明者： 堀尾 泰臣 ,  広瀬 敬司 ,  箕浦 誠司
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 廣江 武典
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-219222
公開番号（公開出願番号）：特開平10-050677
出願日： 1996年07月31日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：

【要約】【課題】 反応ガスの透過をも行えるようにして効率の良いプラズマエッチング処理が施せるとともに、粒体脱落をなくすことにより、長寿命でウエハを汚染することのないプラズマエッチング用電極板を提供すること。【解決手段】 熱分解炭素からなり、厚さ方向と平行に貫通細孔13が設けられているプラズマエッチング用電極板において、上記貫通細孔13内部の表面粗度がRmax=20μm以下であること。

請求項（抜粋）：

熱分解炭素からなり、厚さ方向と平行に貫通細孔が設けられているプラズマエッチング用電極板において、上記貫通細孔内部の表面粗度がRmax=20μm以下であることを特徴とするプラズマエッチング用電極板。

IPC (2件)：

H01L 21/3065 ,  C23F 4/00

FI (2件)：

H01L 21/302 B ,  C23F 4/00 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

• プラズマエッチング用電極板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-192100   出願人：イビデン株式会社
• プラズマエッチング用電極板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-064926   出願人：日立化成工業株式会社
• 特開平3-138381
  
• 特開平3-138381