特許
J-GLOBAL ID:200903028128571717
光実装基板及びそれを用いた光モジュール
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-231941
公開番号(公開出願番号):特開2002-050821
出願日: 2000年07月31日
公開日(公表日): 2002年02月15日
要約:
【要約】【課題】 簡便な方法でSi基板の漏れコンダクタンス、誘電正接の影響を極力抑制し、光実装基板の広帯域化をはかる光実装基板及び光モジュールを提供すること。【解決手段】 光半導体素子2配設させる基板1が240Ω・cm以上の抵抗率を有する単結晶シリコンから成るとともに、光半導体素子2に接続させる配線パターン4が基板1の表面に形成された厚さ10μm以下の誘電体層50上に設けられていることを特徴とする光実装基板とし、この光実装基板上に配線パターン4に接続した光半導体素子2を配設するとともに、配線パターン4に基本周波数10GHz以下の矩形波を伝送するようにしたことを特徴とする光モジュールとする。
請求項(抜粋):
光半導体素子を配設させる基板が240Ω・cm以上の抵抗率を有する単結晶シリコンから成るとともに、前記光半導体素子に接続させる配線パターンが前記基板の表面に形成された厚さ10μm以下の誘電体層上に設けられていることを特徴とする光実装基板。
IPC (3件):
H01S 5/022
, G02B 6/42
, H01L 31/0232
FI (3件):
H01S 5/022
, G02B 6/42
, H01L 31/02 D
Fターム (20件):
2H037AA01
, 2H037BA02
, 2H037BA11
, 2H037DA04
, 2H037DA12
, 5F073AB13
, 5F073AB28
, 5F073BA01
, 5F073EA29
, 5F073FA02
, 5F073FA07
, 5F073FA13
, 5F073FA27
, 5F073HA12
, 5F088BA02
, 5F088BB01
, 5F088EA09
, 5F088EA16
, 5F088JA03
, 5F088JA09
引用特許:
審査官引用 (2件)
-
光半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-278437
出願人:京セラ株式会社
-
光・電子装置/マイクロ波回路用の基体システム
公報種別:公表公報
出願番号:特願平9-526998
出願人:エイチイー・ホールディングス・インコーポレーテッド・ディービーエー・ヒューズ・エレクトロニクス
前のページに戻る