特許

J-GLOBAL ID：200903028163435729

基板処理装置

発明者： 光▲吉▼ 一郎 ,  長良 修治
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-331931
公開番号（公開出願番号）：特開平11-163088
出願日： 1997年12月02日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】 基板の姿勢を水平姿勢と垂直姿勢との間で変換する姿勢変換機構を備えた基板処理装置であって、コンパクトな基板処理装置を提供する。【解決手段】 基板処理装置1は、複数の処理部を直線的に配列した基板処理部600を備え、さらにこれらの処理部の直線的配列の側方に、水平移載ロボット200、姿勢変換機構300、プッシャ400などの受渡し機構を備える。また姿勢変換機構300は、水平姿勢と垂直姿勢との間でその基板の姿勢を変換することが可能である。別設の基板姿勢変換装置をこれらの処理部の直線的配列の延長線上に設ける場合に比べて、本発明の基板処理装置1はコンパクトな装置を実現できる。

請求項（抜粋）：

基板に対して所定の処理を行う基板処理装置であって、(a) 複数の処理部の直線的配列として構成され、基板に一連の処理を順次に行うための処理部列と、(b) 基板を水平姿勢で待機させる基板待機部と、(c) 基板を垂直姿勢の状態で前記処理部列に沿って搬送する搬送手段と、(d) 前記搬送手段と前記基板待機部との間で前記基板を受け渡す受渡し部と、を備え、前記受渡し部は、(d-1) 基板の姿勢を水平姿勢と垂直姿勢との間で変換する姿勢変換手段、を有するとともに、前記受渡し部が、前記処理部列における列方向の側方に配置されていることを特徴とする基板処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  G12B 5/00

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 C ,  G12B 5/00 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-223108   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 基板の姿勢変換装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-252544   出願人：株式会社スガイ
• 特開平4-303312