撮像素子とその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：船橋國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-165218
公開番号（公開出願番号）：特開平9-017985
出願日： 1995年06月30日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：

【要約】【目的】スミア特性を改善した撮像素子とその製造方法を提供する。【構成】シリコン基体21の表層部に光電変換を行う受光部4がライン状に形成され、受光部4の側方にそのライン方向に沿って垂直転送部22がライン状に配設され、シリコン基体上に前記受光部の略直上部を開口した状態で遮光膜15が設けられた撮像素子21である。受光部4の直上に位置するシリコン基体21表面が、垂直転送部22における幅方向の中心部の直上に位置するシリコン基体21表面より低く形成され、これらシリコン基体21表面間に位置するシリコン基体21表面が湾曲して形成されいる。このような構成の撮像素子を製造する方法。

請求項（抜粋）：

シリコン基体の表層部に光電変換を行う受光部がライン状に形成され、該受光部の側方にそのライン方向に沿って垂直転送部がライン状に配設され、前記シリコン基体上に前記受光部の略直上部を開口した状態で遮光膜が設けられてなる撮像素子であって、前記受光部の直上に位置するシリコン基体表面が、前記垂直転送部における幅方向の中心部の直上に位置するシリコン基体表面より低く形成され、これらシリコン基体表面間に位置するシリコン基体表面が湾曲して形成されてなることを特徴とする撮像素子。

IPC (2件)：

H01L 27/14 , H01L 27/148

FI (2件)：

H01L 27/14 D , H01L 27/14 B

引用特許：

審査官引用 (6件)

固体撮像素子とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-045102 出願人：シャープ株式会社
特開昭63-168048
特開平2-304976

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