特許
J-GLOBAL ID：200903028193406383

顕微全反射吸収スペクトル測定装置

発明者：
鈴木 康志

鈴木 康志 について

, 
土渕 毅

土渕 毅 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-041028
公開番号（公開出願番号）：特開平8-233728
出願日： 1995年02月28日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：
【要約】【目的】 試料の微小部分の測定であっても高感度反射法(RAS)に匹敵するような高感度測定ができる顕微全反射吸収スペクトル測定装置を得ることを目的としている。【構成】 本発明の顕微全反射吸収スペクトル測定装置においては、凹面主鏡2と凸面副鏡3よりなる反射対物光学系(カセグレン鏡)を有し、同光学系の集光点を中心とする半球状ATRプリズム4が圧接される試料7の裏面に金属板8を密着させて配置したもので、測定時にはATRプリズム4-試料7-金属板8の配置とし、金属8上の試料7にATRプリズム4を適宜の強さで密着させる。その結果、試料層を通って金属板(導体)に入射した光はその入射角に応じた振幅の定常波となり、試料との相互作用が大きくなって試料による吸収が増幅され、これが感度の増加に寄与する。
請求項（抜粋）：
凹面主鏡と凸面副鏡よりなる反射対物光学系を有し、同光学系の集光点を中心とする金属製の半球状ATRプリズムを備えた顕微全反射吸収スペクトル測定装置において、前記ATRプリズムが圧接される試料の裏面に金属板を密着させて配置したことを特徴とする顕微全反射吸収スペクトル測定装置。
IPC (2件)：
G01N 21/27 ,  G01N 21/35
FI (2件)：
G01N 21/27 C ,  G01N 21/35 Z
引用特許：
審査官引用 (4件)
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