特許
J-GLOBAL ID：200903028216945147
光スイッチとその製造方法及び光スイッチを用いた光通信機器
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-031723
公開番号（公開出願番号）：特開平10-227986
出願日： 1997年02月17日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：
【要約】【課題】従来の光スイッチは駆動電圧が数十ボルト以上と高く、シリコン基板を用いているため光導波路材料に石英ガラスを使用すると、線膨張係数の差により導波路の歪や、割れが発生するという問題がある。【解決手段】基板を石英ガラス基板とし,その上に分離層と、互いに平行かつ先端を連結部材により連結された複数の片持ち梁と、少なくとも一つの片持ち梁の上に形成した光導波路と、該光導波路に対向して固定された複数の光導波路と、前記片持ち梁を変形させるスイッチ駆動手段を形成した。さらに片持ち梁の連結部材上及び基板上に軟磁性体、軟磁性体からなるヨークと永久磁石及びコイルからなる電磁アクチュエータを形成した。
請求項（抜粋）：
入力光信号の光路を切り替える光スイッチにおいて、石英ガラス基板の上に分離層を形成し、その上部に、互いに平行かつ先端を連結部材により連結された複数の片持ち梁と、少なくとも一つの片持ち梁の上に形成した石英ガラス光導波路と、該光導波路に対向して固定された複数の光導波路と、前記片持ち梁を変形させるスイッチ駆動手段を有することを特徴とする光スイッチ。
IPC (3件)：
G02B 26/08
, G02B 6/122
, H04B 10/02
G02B 26/08 F
, G02B 6/12 C
, H04B 9/00 T
