特許
J-GLOBAL ID：200903028217117167

ポジ型感光性樹脂組成物、それを用いた半導体装置及び表示装置

発明者：
水島 彩子

水島 彩子 について

, 
番場 敏夫

番場 敏夫 について


出願人/特許権者：
住友ベークライト株式会社

住友ベークライト株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-309770
公開番号（公開出願番号）：特開2008-139328
出願日： 2006年11月16日
公開日（公表日）： 2008年06月19日
要約：
【課題】 リフロー耐性及び耐薬品性に優れるポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置及び表示素子を提供することである。【解決手段】 リフロー耐性及び耐薬品性に優れる半導体素子や表示素子の絶縁膜として使用されるポジ型感光性樹脂組成物が、(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)ジアゾキノン化合物、(C)一分子中にオキセタニル基を2個以上含有する化合物、(D)前記(C)のオキセタニル基の開環反応を促進する触媒を含む構成とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
(A)アルカリ可溶性樹脂と、 (B)ジアゾキノン化合物と、 (C)一分子中にオキセタニル基を2個以上含有する化合物と、 (D)前記(C)のオキセタニル基の開環反応を促進する触媒と、 を含有するポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/023 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/027 ,  C08G 73/10 ,  C08G 73/22
FI (7件)：
G03F7/023 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 503Z ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R ,  C08G73/10 ,  C08G73/22
Fターム (70件)：
2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  2H025DA01 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096BA10 ,  2H096BA20 ,  2H096CA20 ,  2H096EA02 ,  2H096HA01 ,  2H096JA04 ,  4J043PA02 ,  4J043PA04 ,  4J043PA08 ,  4J043PA19 ,  4J043PB02 ,  4J043PB05 ,  4J043PB14 ,  4J043PB22 ,  4J043PC065 ,  4J043PC066 ,  4J043PC115 ,  4J043PC116 ,  4J043QB15 ,  4J043QB26 ,  4J043RA34 ,  4J043RA52 ,  4J043SA06 ,  4J043SB01 ,  4J043SB02 ,  4J043TA12 ,  4J043TA13 ,  4J043TA22 ,  4J043TB01 ,  4J043TB02 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA261 ,  4J043UA331 ,  4J043UA332 ,  4J043UA621 ,  4J043UB011 ,  4J043UB012 ,  4J043UB021 ,  4J043UB022 ,  4J043UB051 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB151 ,  4J043UB221 ,  4J043UB281 ,  4J043UB282 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB351 ,  4J043UB352 ,  4J043VA012 ,  4J043VA022 ,  4J043VA052 ,  4J043VA062 ,  4J043XB28 ,  4J043YA05 ,  4J043YA28 ,  4J043ZB22
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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