特許
J-GLOBAL ID：200903028234428915
磁気センサ及び磁気検出方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
矢作 和行
, 野々部 泰平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-278087
公開番号（公開出願番号）：特開2007-212435
出願日： 2006年10月11日
公開日（公表日）： 2007年08月23日
要約：
【課題】オフセット電圧を低減することができる磁気センサ及び磁気検出方法を提供すること。【解決手段】縦型のホール素子10を用いた磁気センサ100であって、半導体領域12の表面には、2つの電極15a,15cからなる第1の電極群と、電極15aを間に挟む電極15e,15fの対、電極15cを間に挟む電極15b,15dの対からなる第2の電極群が形成され、第2の電極群は、異なる電極対において、第1の電極15a,15cがなす直線を挟む関係にある電極15fと電極15b、電極15eと電極15bが、基板上に設けられた配線16a,16bによってそれぞれ電気的に接続されている。そして、第1の電極群を構成する電極対と第2の電極群を構成する一方の電極対のうち、一方が駆動電流を供給するための駆動電流用電極対とされ、他方がホール電圧を検出するためのホール電圧用電極対とされる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板に所定導電型の半導体領域が形成されてなり、前記半導体領域内の磁気検出部に駆動電流が供給された状態で、前記基板の表面に水平な磁界成分が前記磁気検出部に作用すると、前記磁界成分に応じたホール電圧を生じる縦型のホール素子を用いた磁気センサであって、
前記半導体領域の表面には、2つの電極からなる第1の電極群と、前記電極をそれぞれ間に挟む2つの電極対からなる第2の電極群が形成され、
前記第2の電極群は、異なる前記電極対において、前記第1の電極群を構成する電極がなす直線を挟む関係にある電極同士が、前記基板上に設けられた配線によってそれぞれ電気的に接続され、
前記第1の電極群を構成する電極対と前記第2の電極群を構成する一方の電極対のうち、一方が前記駆動電流を供給するための駆動電流用電極対とされ、他方が前記ホール電圧を検出するためのホール電圧用電極対とされることを特徴とする磁気センサ。
IPC (2件)：
FI (4件)：
G01R33/06 H
, H01L43/06 P
, H01L43/06 Z
, H01L43/06 D
2G017AA01
, 2G017AB09
, 2G017AD52
, 5F092AA14
, 5F092AB01
, 5F092AC02
, 5F092AD05
, 5F092BA03
, 5F092BA12
, 5F092BA13
, 5F092BA19
, 5F092BA23
, 5F092BA25
, 5F092BA32
, 5F092BA37
, 5F092BE21
, 5F092EA01
