特許

J-GLOBAL ID：200903028239480770

基板検査装置

発明者： 辻 治之
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (6件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  高柴 忠夫 ,  増井 裕士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-137496
公開番号（公開出願番号）：特開2006-352099
出願日： 2006年05月17日
公開日（公表日）： 2006年12月28日
要約：

【課題】基板検査装置内で人間が作業を行った場合に、検査を長時間停止しなければならなくなることを防止することができる基板検査装置を提供する。【解決手段】基板検査装置1は、装置本体2内にフィルタファンユニット5からの清浄空気を通流させるようなミニエンバイロンメント方式を採用しており、清浄空気によって外部よりも清浄度の高い高清浄部3は、複数の仕切り板51,53,54によって第一の領域60と第二の領域61とにさらに区分けされている。第一の領域60には、顕微鏡40の鏡筒などが配置され、第二の領域61には基板Wが搬送されるようになっている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

装置本体内に清浄流体を通流させることで外部よりも清浄度を高め、前記装置本体内に設けられた検査部で基板の検査を実施する基板検査装置において、 基板表面の拡大像を取得する顕微鏡と、前記基板を保持して前記顕微鏡の対物レンズに対して移動自在な検査ステージとを有し、前記基板が移動する領域の清浄度を低下させないように前記装置本体内が仕切られていることを特徴とする基板検査装置。

IPC (3件)：

H01L 21/66 ,  H01L 21/02 ,  G01N 21/956

FI (3件)：

H01L21/66 J ,  H01L21/02 D ,  G01N21/956 A

Fターム (14件)：

2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051AC02 ,  2G051AC11 ,  2G051CC20 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  4M106AA01 ,  4M106BA10 ,  4M106CA39 ,  4M106CA41 ,  4M106DB18 ,  4M106DB30

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ミニエンバライメント方式の半導体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-135222   出願人：近藤工業株式会社, 日本ケンブリッジフィルター株式会社
• ミニエンバイロンメントシステムおよびその操作方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-000529   出願人：ティーディーケイ株式会社