走査透過型電子顕微鏡

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：武顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-267355
公開番号（公開出願番号）：特開2001-093459
出願日： 1999年09月21日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】実時間で元素マッピング像を取得できる走査透過型電子顕微鏡において、低倍率でも視野周辺でエネルギーずれや視野カットの無い元素マッピング像が得られる走査透過型電子顕微鏡を提供すること。【解決手段】電子線源1と走査コイル3、対物レンズ4、結像レンズ8、電子分光装置11、それにエネルギースリット14とマッピング検出器15を備えた走査透過型電子顕微鏡において、振り戻しコイル7を設け、走査コイル3により電子線を走査したことにより、エネルギースリット14の位置で電子線に現れる電子線の移動量19を、振り戻しコイル7による電子線の偏向により相殺して低減し、マッピング検出器15の出力の演算処理を走査コイル3による電子線の走査に同期して逐次実行させ、画像表示するようにしたもの。【効果】低倍率の元素マッピング像を実時間で取得する際に、電子線走査に伴うスペクトルのエネルギードリフトを低減が小さくなり、元素マッピング像のエネルギーずれや視野制限が生じないようにできる。

請求項（抜粋）：

電子線源から試料に照射される電子線を電子線走査手段により走査し、試料から透過された電子線を電子分光手段とエネルギースリットによりエネルギー分析して電子線検出手段に入力することにより、電子線エネルギーを階調化して画像表示する方式の透過型電子顕微鏡において、前記試料と前記電子分光手段の間に配置した振り戻し走査手段と、前記電子線検出手段の出力に対して画像表示に必要な演算処理を施す演算手段とを設け、該振り戻し走査手段を前記電子線走査手段と同期して動作させることにより、前記エネルギースリット位置に前記試料の電子線による走査に伴って現れる電子線の光軸からの移動を相殺して低減させ、前記演算手段による演算処理を、前記試料の電子線による走査に同期して逐次実行させるように構成したことを特徴とする透過型電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/28 , H01J 37/147 , H01J 37/22 502

FI (3件)：

H01J 37/28 C , H01J 37/147 B , H01J 37/22 502 H

Fターム (14件)：

5C033AA05 , 5C033EE02 , 5C033EE03 , 5C033FF02 , 5C033FF03 , 5C033NN03 , 5C033NP01 , 5C033NP06 , 5C033SS01 , 5C033SS03 , 5C033SS04 , 5C033SS07 , 5C033SS08 , 5C033UU05

引用特許：

審査官引用 (5件)

電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-022951 出願人：株式会社日立製作所, 日立計測エンジニアリング株式会社
微小領域観察装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-227791 出願人：株式会社日立製作所
特開昭52-027349

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