イソプロピルアルコール蒸気乾燥装置及びシリコンウエハの乾燥方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：社本一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-170843
公開番号（公開出願番号）：特開2002-367950
出願日： 2001年06月06日
公開日（公表日）： 2002年12月20日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】ウォーターマークの発生をより一層低減するイソプロピルアルコール(IPA)蒸気乾燥装置を提供する。【解決手段】液体IPAを収容するIPA槽9;該IPA槽9の周囲に設けられた側壁15;該IPA槽9から上方に所定の間隔をおいて且つ該側壁15近傍に設けられた冷却管7;該IPA槽9の少なくとも下部に設けられた加熱手段8;該IPA槽9中の液体IPAに予備加熱された液体IPAを供給するための予備加熱手段17を含むIPA供給手段;該IPA槽9中のIPAの液面、該側壁15及び該冷却管7により規定される空間にシリコンウエハ11を出し入れするための搬送手段(エレベータ)12;及びシリコンウエハ11上のIPAと水分との混合物を回収し前記空間外に排出するための排出手段(ドレイン管)5;を含むシリコンウエハ11のIPA蒸気乾燥装置200とからなる。

請求項（抜粋）：

(1)液体のイソプロピルアルコール(IPA)を収容するIPA槽、(2)該IPA槽の周囲に設けられた側壁、(3)該IPA槽から上方に所定の間隔をおいて且つ該側壁近傍に設けられた冷却管、(4)該IPA槽の少なくとも下部に設けられた加熱手段、(5)該IPA槽中の液体IPAに予備加熱された液体IPAを供給するための、予備加熱手段を含むIPA供給手段、(6)該IPA槽中のIPAの液面、該側壁及び該冷却管により規定される空間にシリコンウエハを出し入れするための搬送手段、及び(7)シリコンウエハ上のIPAと水分との混合物を回収し前記空間外に排出するための排出手段、を含むシリコンウエハのIPA蒸気乾燥装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 651 , H01L 21/304

FI (2件)：

H01L 21/304 651 H , H01L 21/304 651 G

引用特許：

審査官引用 (5件)

乾燥装置および乾燥方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-132046 出願人：三菱電機株式会社, 菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社
特開平1-119379
特開平1-119379

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