研磨剤供給装置および研磨剤供給方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：奈良武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-145955
公開番号（公開出願番号）：特開2002-337047
出願日： 2001年05月16日
公開日（公表日）： 2002年11月26日
要約：

【要約】【課題】安定した砥粒濃度で研磨剤を一定量で供給することができ、しかも構造が簡単な研磨剤供給装置および研磨剤供給方法を提供する。【解決手段】研磨剤2の収納容器3の底部に下端を吐出口5とする供給筒4を連接する。収納容器3の上部に密閉具6を被せ、攪拌モータ7で回転するシャフト8を保持する。シャフト8には研磨剤2中で回転する攪拌プロペラ1を取り付ける。また、密閉具6には、通気孔9および接続具10を介してホース11を接続する。ホース11は分岐し、吐出制御機14と吸気調整弁12を介在して吸引機13を接続する。吸引機13は吐出口5から空気を吸引し、この空気により研磨剤2を振動させつつ攪拌プロペラ1を回転して研磨剤2を攪拌し、砥粒16を研磨剤2中に分散して砥粒濃度を一定にする。研磨剤2の供給は、吸引機13を停止し、吐出制御機14を起動して収納容器3内の圧力を高めて行う。

請求項（抜粋）：

研磨剤を研磨装置に供給する研磨剤供給装置において、研磨剤を収納するとともにこの収納した研磨剤を吐出する吐出口を備えた容器と、前記容器に収納されて前記研磨剤を攪拌する回転翼と、前記回転翼を回転させるために該回転翼と連結したモータと、前記研磨剤の吐出量の制御を行う吐出制御機と、前記容器内に前記吐出口を介して空気を吸引し該空気により前記容器内の研磨剤を振動させるようにした吸引手段と、を有することを特徴とする研磨剤供給装置。

Fターム (3件)：

3C058AC04 , 3C058CA01 , 3C058CB03

引用特許：

審査官引用 (2件)

砥粒液供給装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-108824 出願人：日立電子エンジニアリング株式会社
研磨用スラリーの供給方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-245036 出願人：超音波工業株式会社

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