超接合半導体素子

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：篠部正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-268462
公開番号（公開出願番号）：特開2002-076339
出願日： 2000年09月05日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
要約：

【要約】【課題】オン状態では電流を流すとともに、オフ状態では空乏化する並列pn層からなるドリフト層を有する超接合半導体素子において、低オン抵抗でありながら高速な動作を可能にする。【解決手段】ゲート電極16を埋めたトレンチ14の繰り返しピッチ(p2)を、並列pn層11の繰り返しピッチ(p1)より大きくする。また、p仕切り領域とpウェル領域との間にn深部領域を挟んでも良い。

請求項（抜粋）：

第一と第二の主面と、主面に設けられた二つの主電極と、第一と第二の主面間に低抵抗層と、オン状態では電流を流すとともにオフ状態では空乏化する第一導電型ドリフト領域と第二導電型仕切り領域とを交互に配置した並列pn層と、第一の主面側に掘り下げられたトレンチ内にゲート酸化膜を介して埋め込まれたゲート電極と、トレンチ側壁のゲート酸化膜の少なくとも一部に接する第二導電型ウェル領域と、その第二導電型ウェル領域により第一導電型ドリフト領域から離間され、かつトレンチ側壁部のゲート酸化膜に接する第一導電型ソース領域とを備える超接合半導体素子において、ゲート電極の繰り返しピッチが並列pn層の繰り返しピッチと異なることを特徴とする超接合半導体素子。

IPC (5件)：

H01L 29/78 652 , H01L 29/78 , H01L 29/78 653 , H01L 29/78 655 , H01L 29/74

FI (5件)：

H01L 29/78 652 H , H01L 29/78 652 K , H01L 29/78 653 A , H01L 29/78 655 D , H01L 29/74 F

Fターム (10件)：

5F005AA01 , 5F005AA03 , 5F005AB03 , 5F005AC01 , 5F005AE01 , 5F005AE07 , 5F005AE09 , 5F005AF01 , 5F005BA02 , 5F005CA01

引用特許：

審査官引用 (4件)

高電圧MOSFET構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-318826 出願人：ハリスコーポレイション
ソフトスイッチング回路
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-326588 出願人：富士電機株式会社
高耐圧半導体素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-062470 出願人：株式会社東芝

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