特許

J-GLOBAL ID：200903028557153559

搬送アーム

発明者： 光吉 敏彦
出願人/特許権者： 株式会社ジェーイーエル
代理人 (1件)： 砂場 哲郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-364370
公開番号（公開出願番号）：特開2001-185596
出願日： 1999年12月22日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】 半導体基板等を高精度搬送するとともに、高い耐久性を確保する。【解決手段】 第1平行リンク10の短節と、第2平行リンク20の短節とをベースにて共有して連結し、第1平行リンク10のアーム端の関節軸J1に付与された旋回動作により、第1平行リンク10のアーム11、12と第2平行リンク20のアーム21、22のなす角度を変化させて第2平行リンク20の自由端に設けられた搬送台50を直線移動させるようにした搬送アームにおいて、第1平行リンク10と第2平行リンク20との間のベース30上に、中心軸線Cr方向に沿ってガイドレール33を有するリニアガイド32と、ガイドレール33上を走行するスライダ31と短節両端で第1平行リンク10と第2平行リンク20のアーム端を軸支する関節軸27、28とをリニアガイド32に関して対称にそれぞれ連結した同期リンク40とを備えた。

請求項（抜粋）：

第1平行リンクの短節と、第2平行リンクの短節とをベースにて共有して連結し、前記第1平行リンクのアーム端に付与された旋回動作により、前記第1平行リンクのアームと第2平行リンクのアームのなす角度を変化させて前記第2平行リンクの自由端に設けられた搬送台を直線移動させるようにした搬送アームにおいて、前記第1平行リンクと第2平行リンクとの間のベース上に、前記共有された短節に直交する方向にガイドレールを有するリニアガイドと、前記ガイドレール上を走行するスライダと前記短節両端で前記第1平行リンクと第2平行リンクのアーム端を軸支する関節軸とを前記リニアガイドに関して対称にそれぞれ連結した同期リンクとを備えたことを特徴とする搬送アーム。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B25J 9/06 ,  B65G 49/07

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  B25J 9/06 D ,  B65G 49/07 C

Fターム (16件)：

3F060AA01 ,  3F060AA07 ,  3F060AA08 ,  3F060BA06 ,  3F060EA01 ,  3F060EB11 ,  3F060EC11 ,  3F060FA02 ,  3F060GB12 ,  3F060GB31 ,  3F060GC00 ,  3F060HA00 ,  3F060HA40 ,  5F031GA43 ,  5F031GA44 ,  5F031GA47

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 複数軸動力伝達装置およびウエハ搬送用アームリンク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-217135   出願人：有限会社ビーケーエスラボ
• 搬送用ロボット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-064405   出願人：株式会社小松製作所